日本表面真空学会

2024年12月20日（金）13:10～18:45

機械振興会館 地下3階 研修-2号室
（〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8）

　第180回定例研究会は、2件の技術講演を企画しました。講演内容は人工ダイヤモンドならびにDLC（Diamond-like carbon）等の機能性炭素材料の開発法および医療用生体材料への応用に関するもので、それぞれご講演をいただきます。今後の半導体産業や医療産業への応用が大いに期待される研究分野です。
SP部会は、会員相互の技術情報交換の場を提供するために、年一度、技術交流会を企画しています。毎回ご好評をいただいており、今年で21回目となります。ショートプレゼンテーションとポスター発表をあわせた形とし、ポスターセッションでは懇親を兼ねる形といたします。通常の定例研究会では、会員相互で情報の交換をする機会が少なく、同部会に所属していることのメリットを十分に活かせておりませんでした。この技術交流会を機会に会員相互で有益な技術情報を交換していただき、会員同士のさらなる技術的発展につながればと考えております。部会員以外の方の参加も歓迎いたします。皆様の奮ってのご参加をお待ちしております。
なお、ポスター発表者は、当日（定例研究会と技術交流会）の参加費が無料です。

プログラム
－定例研究会－
13:10～13:50
「CVDによるダイヤモンド合成と電気化学的応用」
　坂本 幸弘（千葉工業大学）

13:50～14:30
「DLCコーティングによる医療用生体適合材料の開発」
　中谷 達行（岡山理科大学）

－技術交流会－
14:50～16:00　ショートプレゼンテーション（プレゼン3分交代時間2分×14件）
　１.「蓄熱がDLC膜の表面層形成に与える影響」
　　　村岡 祐治（岡山大学）
　２.「スパッタリング銀薄膜堆積におけるナノ粒子の形成とそのLSPR特性」
　　　草野 英二（金沢工業大学）
　３.「マルチパルス型HiPIMS法によるDLC薄膜形成に向けたプラズマ診断」
　　　坂本　 龍（東京都立大学大学院）
　４.「VO₂/AZO/Polyimide 積層構造における電圧印加赤外光透過率制御に関する研究」
　　　平鍋　 頼（東海大学大学院）
　５.「VO₂平面型デバイスの自励発振現象における回路パラメータ依存性に関する研究」
　　　樹所 純平（東海大学大学院）
　６.「Reactive mode transition in multi-pulse HiPIMS discharge of vanadium in Ar/O₂ gas mixtures」
　　　Erdong Chen（Tokyo Metropolitan University）
　７.「SRO/Pt/ZrO₂多層バッファーを用いたSi基板上でのPZT圧電単結晶薄膜のエピタキシャル成長」
　　　中川原 修（I-PEX Piezo Solutions 株式会社）
　８.「スパッタリング法の光電変換素子形成への応用」
　　　関口 晨雄（東京科学大学）
　９.「深振動マグネトロンスパッタリングの制御パルス設計とプラズマ発光分光分析を用いたガス密度分布の解析」
　　　横山 英佐（東京工芸大学）
１０.「深振動マグネトロンスパッタリングの成膜領域におけるレーザー誘起蛍光の観測」
　　　中川 悠幹（東京工芸大学）
１１.「深振動マグネトロンスパッタリングの成膜領域における飛行時間質量分析法を用いた多成分同時検出エネルギー分布計測」
　　　小林 宏輝（東京工芸大学）
１２.「InN薄膜のエレクトロクロミック応答時間に対する成膜温度の影響」
　　　渡邉 将騎（千葉工業大学）
１３.「プラズマCVD法による超撥水性SiO:CH微粒子堆積膜の作製」
　　　西尾 舞雪（千葉工業大学）
１４.「真空の常識を覆す新しい真空構造材0.2%BeCuとその応用」
　　　黒岩 雅英（東京電子株式会社）

16:30～18:30　ポスターセッション

ポスター発表申込期限　2024年11月28日（木）

アブストラクト提出期限　2024年12月2日（月）
　＊A4用紙1枚、様式自由、第180回定例研究会冊子にカラー印刷掲載予定。

アブストラクト提出方法
　PDFファイルにて事務局 office@jvss.jp 宛にご提出ください。
　＊文字化けを避けるためにフォントは「埋め込み」にしてください。

※アブストラクト、ショートプレゼン、ポスターの発表言語は日本語でも結構です。

第1～20回技術交流会発表参加者（敬称略）
　大阪大学、金沢工業大学、関東学院大学、京都大学、近畿大学、信州大学、成蹊大学、千葉工業大学、中部大学、電気通信大学、東海大学、東京大学、東京理科大学、東北大学、東洋大学、名古屋工業大学、名古屋大学、兵庫県立大学、法政大学、久留米工業高等専門学校、都城工業高等専門学校、秋田県産業技術総合研究センター、産業技術総合研究所、物質・材料研究機構、(株)アルバック、アルバック九州(株)、アルバックテクノ(株)、(株)イー・エム・ディー、イーグル工業(株)、AGC(株)（旧称:旭硝子(株)）、AGCセラミックス(株)、(株)大阪真空機器製作所、オリンパス(株)、キヤノン(株)、キヤノンアネルバ(株)、(株)COMET、芝浦メカトロニクス(株)、(株)昭和真空、(株)シンクロン、助川電気工業(株)、(株)スピネット、セントラル硝子(株)、大亜真空(株)、東京電子(株)、(株)日鉱マテリアルズ、日本真空光学(株)、日本ビクター(株)、(株)ブリヂストン、平和電機(株)（旧称:平和電源）、ペガサスソフトウエア(株)、(株)北海光電子、(株)ホンダロック、(株)村田製作所

50名

SP部会員：無料
日本表面真空学会個人正会員：23,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
教育機関、公的機関に属する方：12,000円
学生： 5,000円
一般：28,000円
ポスター発表者：無料
（資料代・消費税を含む）

＊講演資料集冊子を会議に先だって郵送します。

＊日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員の企業名はこちらをご確認ください。

申込みは終了しました。

銀行振込
＊申込受付完了後、請求書をメール添付でお送りします。
（銀行振込のため領収書は発行いたしません。ご了承ください。）

＊「参加者の都合による取消し及び不参加」の場合、参加費の払い戻しはいたしません。ただし、参加者の変更は差し支えありません。

問合せ先
　公益社団法人日本表面真空学会 事務局
　E-mail: office@jvss.jp　　TEL: 03-3812-0266

本件担当
　日本表面真空学会 SP部会　黒岩、實方、並木、沼田