歴代会長・副会長
| 任期 | 年度 | 会長 | 副会長 |
|---|---|---|---|
| 令和5年度 | 2023 | 福谷克之 |
渡邉 聡（会長代理） 入江則裕 |
| 令和4年度 | 2022 |  福谷克之 |
渡邉 聡（会長代理） 入江則裕 |
| 令和3年度 | 2021 | 重川秀実 |
長谷川修司（会長代理） 福谷克之 |
| 令和2年度 | 2020 |  重川秀実 |
長谷川修司（会長代理） 福谷克之 大岩 烈 |
| 令和元年度 | 2019 |  荒川一郎 |
重川秀実（会長代理） 福谷克之 長谷川修司 大岩 烈 |
| 平成30年度 | 2018 |  大門 寛 |
荒川一郎（会長代理） 重川秀実 福谷克之 藤田大介 大岩 烈 |
歴代会長・副会長（旧日本表面科学会）
| 任期 | 年度 | 会長 | 副会長 |
|---|---|---|---|
| 平成29年度 | 2017 | 大門 寛 |
重川秀実（会長代理） 大岩 烈 倉林 徹 堀尾吉已 玉田 薫 |
| 平成28年度 | 2016 | 荻野俊郎 | 大門 寛（会長代理） 大岩 烈 松本卓也 堀尾吉已 朝倉清高 |
| 平成27年度 | 2015 |  荻野俊郎 |
大門 寛（会長代理） 大岩 烈 大西 洋 村上健司 朝倉清高 |
| 平成26年度 | 2014 | 尾嶋正治 | 荻野俊郎（会長代理） 大岩 烈 大西 洋 村上健司 池田正則 |
| 平成25年度 | 2013 |  尾嶋正治 |
荻野俊郎（会長代理） 大岩 烈 安江常夫 吉村雅満 池田正則 |
| 平成24年度 | 2012 | 森田清三 | 尾嶋正治 |
| 平成23年度 | 2011 |  森田清三 |
尾嶋正治 |
| 平成22年度 | 2010 |  吉原一紘 |
森田清三 |
| 平成21年度 | 2009 | 高柳邦夫 | 吉原一紘 |
| 平成20年度 社団法人化 2008.6.12 |
2008 |  高柳邦夫 |
吉原一紘 |
| 第15期（後） | 2007 | 高柳邦夫 | 吉原一紘 |
| 第15期（前） | 2006 | 高柳邦夫 |
吉原一紘 |
| 第14期（後） | 2005 | 岩澤康裕 | 高柳邦夫 |
| 第14期（前） | 2004 |  岩澤康裕 |
高柳邦夫 |
| 第13期（後） | 2003 | 塚田 捷 | 岩澤康裕 |
| 第13期（前） | 2002 |  塚田 捷 |
岩澤康裕 |
| 第12期（後） | 2001 | 二瓶好正 | 塚田 捷 |
| 第12期（前） | 2000 |  二瓶好正 |
塚田 捷 |
| 第11期（後） | '99 | 杉田利男 | 二瓶好正 |
| 第11期（前） | '98 |  杉田利男 |
二瓶好正 |
| 第10期（後） | '97 | 内島俊雄 | 杉田利男 |
| 第10期（前） | '96 |  内島俊雄 |
杉田利男 |
| 第9期（後） | '95 | 河津 璋 | 大坪孝至 |
| 第9期（前） | '94 |  河津 璋 |
大坪孝至 |
| 第8期* | '93 |  馬場宣良 |
河津 璋 |
| 第7期（後） | '92 |  菅野卓雄 |
馬場宣良 |
| 第7期（前） | '91 |  宮崎栄三 |
菅野卓雄 |
| 第6期（後） | '90 |  坂田 亮 |
宮崎栄三 |
| 第6期（前） | '89 |  新居和嘉 |
坂田 亮 |
| 第5期 | '87～88 |  前田正雄 |
坂田 亮、新居和嘉 |
| 第4期 | '85～86 | 清山哲郎 | 井上勝也、前田正雄 |
| 第3期 | '83～84 |  清山哲郎 |
井上勝也、前田正雄 |
| 第2期 | '81～82 | 上田隆三 | 鎌田 仁、清山哲郎、戸谷富之 |
| 第１期（創立） | '79～80 |  上田隆三 |
鎌田 仁 |
歴代会長・副会長（旧日本真空学会）
| 任期 | 会長 |
|---|---|
| 2017年6月8日 ― 2018年3月31日 | 荒川 一郎 |
| 2015年3月11日 ― 2017年6月8日 | 齊藤 芳男 |
| 2011年2月17日 ― 2015年3月11日 | 尾浦憲治郎 |
| 2007年2月23日 ― 2011年2月17日 | 岡野 達雄 |
| 2005年2月25日 ― 2007年2月23日 | 小林 正典 |
| 2003年2月21日 ― 2005年2月25日 | 小野 雅敏 |
| 2001年2月22日 ― 2003年2月21日 | 吉森 昭夫 |
| 1997年2月20日 ― 2001年2月22日 | 中山 勝矢 |
| 1989年2月17日 ― 1997年2月20日 | 堀越 源一 |
| 1985年2月27日 ― 1989年2月17日 | 辻 泰 |
| 1975年2月22日 ― 1985年2月27日 | 井街 仁 |
| 1967年2月10日 ― 1975年2月22日 | 熊谷 寛夫 |
| 1965年2月10日 ― 1967年2月10日 | 西尾 秀彦 |
| 1958年7月12日 ― 1965年2月10日 | 浅尾荘一郎 |
日本表面真空学会 事務局
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