SP部会の歴史

SP部会は1986年に日本工業技術振興協会の部会として設立され、1999年に日本真空協会（のちに日本真空学会）へと移籍しました。日本真空学会と日本表面科学会の合併に伴い、2018年からは日本表面真空学会 (JVSS) の技術部会となり、現在に至ります。

東京大学（当時）の金原粲先生を初代幹事長（のちに部会長）とし、年に5回の定例研究会と、隔年で実施されるInternational Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP) の開催を中心に活動を続けてきました。定例研究会は2020年までに165回を数え、ISSPは1991年から2019年まで、15回が実施されました。ISSPの実施はJVSS直下の実行委員会で司られることとなりましたが、同委員会とSP部会とは、いまでも緊密な連携を保って活動しています。

設立当初より、企業とアカデミアとの活発な交流を主目的とした活動を続けています。定例研究会で講演予稿の冊子を配布してきたほか、所属学会の学会誌向けにも多くの特集を企画してきました。のちには定例研究会やISSPの実施のほかに、技術交流会・技術講習会・勉強会などが実施されるようになり、スパッタリングおよびプラズマ技術についての交流の場となるべく、活動を続けています。

SP部会の履歴やISSPについては以下も参照ください。

＊スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP 部会）の設立と発展の軌跡(2014年)
[ただし、この原稿にある「2001年に日本真空協会に移籍」は1999年が正しいです]

＊スパッタリングおよびプラズマプロセス技術（SP）部会の活動(2018年)

＊International Symposium on Sputtering & Plasma Processes