真空と表面の匠

受賞年	受賞者	所属	受賞業績
2025年	該当なし
2024年	関口　敦	工学院大学	CVD成膜装置の開発とCVD技術普及への貢献
2023年	大林哲郎	(株)大阪真空機器製作所	希薄気体力学を用いた真空ポンプの開発
2022年	稲吉さかえ	(株)アルバック	各種真空材料の表面処理方法の開発とガス放出特性評価
2021年	該当なし
2020年	佐藤弘悦	佐藤真空(株)	真空機器による先端科学技術への永年にわたる貢献
2020年	大岩　烈	シエンタオミクロン(株)	表面分析機器の普及と啓発に対する永年にわたる貢献
2019年	井口昌司	(株)大阪真空機器製作所	ターボ分子ポンプとねじ溝ポンプを組み合わせた複合分子ポンプの開発と実用化に対する貢献