真空の匠
真空の匠
| 年度 | 受賞者 | 所属 | 受賞業績 | 2020年度 | 佐藤弘悦 | 佐藤真空(株) | 真空機器による先端科学技術への永年にわたる貢献 | 大岩 烈 | シエンタ オミクロン(株) | 表面分析機器の普及と啓発に対する永年にわたる貢献 | 2019年度 | 井口昌司 | (株)大阪真空機器製作所 | ターボ分子ポンプとねじ溝ポンプを組み合わせた複合分子ポンプの開発と実用化に対する貢献 |
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日本表面真空学会 事務局
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