SP部会賞
2024年度SP部会賞のご報告
SP部会では、例年「SP部会賞」の候補業績を募集し、審査を経て授賞業績を決定しています。「SP部会賞」は、平成17年度に新設したスパッタリングおよびプラズマプロセス技術及びその関連分野の発展に寄与する顕著な業績を表彰するものです。
2024年度のSP部会賞は、審査委員会による推薦を受け、幹事会で審議した結果、以下の業績に贈呈することと決定しました。
表彰対象者：
氏 名：中川原 修、服部 梓
所 属：I-PEX Piezo Solutions 株式会社
業績名：
多層バッファーを用いたSi 基板上での圧電単結晶薄膜の実用化およびエピタキシャル成長メカニズムの解明
審査報告は以下のPDFをご覧ください。
[SPprize_2024Report.pdf]
贈呈式ならびに受賞講演は、2025年度の第1回定例研究会にて実施する予定です。
過去の受賞業績は以下からご覧ください。
https://www.jvss.jp/_files/SPprize_AchievementList.pdf
2025年度のSP部会賞は秋ごろに募集のご案内をする予定ですので、どうぞよろしくお願いいたします。
中野武雄（成蹊大学、日本表面真空学会SP部会 部会長）
日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL：03-3812-0266 FAX：03-3812-2897 Email：