受賞年の前年度(1月~12月)を含む過去2年間に本会会誌または本会発行の e-Journal of Surface Science and Nanotechnology に掲載された原著論文が、表面・真空科学の進歩発展に特に大きく貢献したと認められる個人会員(物故者を含む)に年一回授賞する
熊谷記念真空科学論文賞
受賞年の前年度(1月~12月)を含む過去2年間に本会会誌または本会発行の e-Journal of Surface Science and Nanotechnology に掲載された原著論文が、真空科学の進歩発展に特に大きく貢献したと認められる個人会員(物故者を含む)に年一回授賞する
会誌賞
受賞年の前年度(1月~12月)を含む過去2年間に本会会誌または本会発行の e-Journal of Surface Science and Nanotechnology に掲載された原著論文以外の記事が、本学会会員の啓蒙に特に大きく貢献したと認められる個人会員(物故者を含む)に年一回授賞する
奨励賞
前年度(1月~12月)中に本会会誌または本会発行の e-Journal of Surface Science and Nanotechnology に掲載された原著論文または研究紹介の第一著者が、原稿受理日において37歳以下であり、その研究開発内容が注目され、将来表面・真空科学への貢献が大いに期待されると認められる個人会員に年一回授賞する
技術賞
受賞年の前年度(1月~12月)を含む過去2年間に本会会誌または本会発行の e-Journal of Surface Science and Nanotechnology へ掲載された原著論文またはこれに準ずるものが、表面・真空科学における基礎技術あるいは応用技術の進歩発展に大きく貢献したと認められる個人会員に年一回授賞する