産業賞
| 年度 | 受賞者 | 受賞業績 |
|---|---|---|
| 2021年度 |
株式会社アルバック | 圧電 MEMS デバイス向け PbZrTiO3 スパッタ量産化技術 |
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2020年度 |
東京電子株式会社 | 大電力パルススパッタリング法（HiPIMS）用の電源を自社で開発、異常放電を抑制しながら成膜速度を向上 |
| 大陽日酸株式会社 | AlN、GaN などの紫外発光デバイス用および先端デバイス用MOCVD | |
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2019年度 |
株式会社旭プレシジョン | KAGRA光学部品への表面黒化処理の技術開発 |
| 株式会社ミラプロ | KAGRAにおける大口径長尺超高真空ダクトの製造 |
日本表面真空学会 事務局
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