産業賞
| 年度 | 受賞者 | 受賞業績 |
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2024年度 |
住友重機械工業株式会社 アルバック・クライオ株式会社 キヤノンアネルバ株式会社 （法人正会員） |
ISO 21360-6 クライオポンプの性能試験方法の発行 |
| 2023年度 | 該当なし | |
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2022年度 |
株式会社島津製作所 （法人正会員） |
ターボ分子ポンプの安全性に関するガイドラインの策定とISO規格化 |
| 東京電子株式会社 （法人正会員） |
完全封止質量分析法の製品化による車載デバイスの品質保証への貢献 | |
| 2021年度 |
株式会社アルバック （法人正会員） |
圧電 MEMS デバイス向け PbZrTiO3 スパッタ量産化技術 |
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2020年度 |
東京電子株式会社 （法人正会員） |
大電力パルススパッタリング法（HiPIMS）用の電源を自社で開発、異常放電を抑制しながら成膜速度を向上 |
| 大陽日酸株式会社 （法人正会員） |
AlN、GaN などの紫外発光デバイス用および先端デバイス用MOCVD | |
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2019年度 |
株式会社旭プレシジョン （法人正会員） |
KAGRA光学部品への表面黒化処理の技術開発 |
| 株式会社ミラプロ （法人正会員） |
KAGRAにおける大口径長尺超高真空ダクトの製造 |
日本表面真空学会 事務局
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