日本表面真空学会

2024年11月19日（火）15:00～17:45（接続受付14:30～）

オンライン（Zoom）

　International Symposium on Sputtering and Plasma Processes（ISSP）は、第1回目の開催となった1991年以降、基礎研究、材料開発から、製品化技術に至る幅広い情報を交換・議論する場として隔年開催され、第17回目を迎えるISSP2024が本年2024年7月に京都で開催されました。"A new dawn of sputtering & plasma processes towards sustainable development" というメイントピックのもと、第一線でご活躍の研究者・技術者の方々をはじめ、当該分野に関する最先端の研究トピックスに関して多くのご講演をいただき、大変盛況な会となりました。本企画では、主に本会議に参加が出来なかった皆様を対象に、関連トピックスについて受賞講演者をお招きし、本会議の内容を振り返る勉強会を実施いたします。多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

テーマ
　ISSP2024 開催報告および受賞講演レビューセッション

プログラム
15:00～15:05　開会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会 副部会長　清水 徹英（東京都立大学）

15:05～15:45
「ISSP2024開催概要およびオーラルセッションの総合レビュー」(30分講演10分質疑)
　清水 徹英（東京都立大学）

15:45～16:15
Student Award 講演①
「RF/DCスパッタリングによるTi/SiO_x多層膜の自己伝播発熱反応に及ぼす酸素含有量の影響 」(20分講演10分質疑)
　福田 涼太（京都先端科学大学）

16:15～16:30　休　憩

16:30～17:00　Student Award 講演②
「Low temperature growth of highly crystallized AlN by using microwave plasma assisted HiPIMS at very low N₂ flow rates」(20分講演10分質疑)
　Caroline Hain（Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology、スイス）

17:00～17:40　Best Paper Award 講演
「Heterostructural decomposition and planar defect formation in ternary V_1-xW_xB_2-delta and V_1-xMo_xB_2-delta films」(30分講演10分質疑)
　Katarína Viskupová（Comenius University in Bratislava、スロバキア）

17:40～17:45　閉会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会　小寺 恭介（昭和真空）

100名

SP部会員：無料
日本表面真空学会個人正会員：3,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：3,000円
教育機関、公的機関に属する方：3,000円
学生： 無料
一般：5,000円
（消費税を含む）

※講演資料集冊子の配布はございません。

＊日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員の企業名はこちらをご確認ください。

こちらの申込フォームからお申込みください。
※お申込み完了後、受付完了メールが自動返信されます。
　受付完了メールが届かない場合は、office@jvss.jp へご連絡ください。

申込締切　2024年11月12日（火）

銀行振込（申込受付完了後、請求書をメール添付でお送りします。）

※「参加者の都合による取り消し及び不参加」の場合、参加費の払い戻しはいたしません。
　ただし、参加者の変更は差し支えありません。

問合せ先
　公益社団法人日本表面真空学会 事務局
　E-mail: office@jvss.jp　　TEL 03-3812-0266

本件担当
　日本表面真空学会SP部会　清水徹英（東京都立大学）、小寺恭介（昭和真空）