公益社団法人 日本表面真空学会



スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)2020年度技術講習会

主催

日本表面真空学会

開催日

2020年12月7日(月)10:00 ~ 16:30(内休憩1時間)

締切日

2020年11月27日

会場

オンライン

プログラム

開催方法
Web会議形式(Zoom)
※事前にお申込みいただいた方宛にテキストを郵送します。当日のアクセスの詳細は、別途ご案内します。

講 師
中村 圭二(中部大学工学部 電気電子システム工学科 教授)

題 目
プロセス用プラズマの生成・計測・応用

講義内容
1.プラズマ生成
1.1 プラズマの構成粒子
1.2 プラズマの電位とシース形成
1.3 荷電粒子およびラジカルの生成と維持
1.4 プラズマの各種生成法
  (直流放電、静電結合型高周波プラズマ、誘導結合型高周波プラズマ、マイクロ波プラズマ)
2.プラズマのプロセスへの応用
2.1 プロセスにおけるプラズマの役割
2.2 プラズマに曝された表面での現象(堆積、エッチング、スパッタリング、注入)
2.3 実際のプロセス例
3.プラズマ計測
3.1 電気的手法~ラングミュアプローブ
3.2 波動的手法~表面波プローブ(プラズマ吸収プローブ)
3.3 光学的手法~発光分光法、アクチノメトリ法、吸収分光法
3.4 粒子的手法~質量分析法、出現質量分析法

禁止事項
本講習会受講にあたり、下記の行為を禁止します。ご協力お願いします。
(1)講習会への申込者以外が講習会を視聴すること
(2)講習会のミーティングID、パスワード、URLを第三者に知らせること
(3)発表画面、音声等をパソコンやその他の記録メディアに保存すること
(4)発表画面、音声、資料等をインターネット上のネットワーク配信サイト等へ配布すること
(5)他の受講者又は講師に迷惑・不利益を与える行為
(6)その他著作権法等の法令に反する行為

参加定員

30名(先着順にて定員になり次第締め切らせていただきます。)

費用

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会員) 10,000円
日本表面真空学会会員(個人正会員、法人正会員、維持会員、賛助会員) 30,000円
一 般 40,000円
学 生  5,000円
(テキスト代・消費込み)

申込方法

こちらの申込フォームからお申込みください。
※お申込み完了後、受付完了メールが自動返信されます。
 受付完了メールが届かない場合は、office@jvss.jp へご連絡ください。

支払方法

銀行振込(申込受付完了後、請求書を発送します。)

「受講者の都合による取消し及び不参加」の場合、受講料の払い戻しはいたしません。ただし、受講者の変更は差し支えありません。

備考

問合せ先
公益社団法人日本表面真空学会 事務局
E-mail: office@jvss.jp



日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL:03-3812-0266 FAX:03-3812-2897 Email:

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