聞くに聞けない表面分析法の疑問　Q&A

Q&A: Questions too embarrassed to ask about surface analysis

　日本表面真空学会表面分析研究部会では，表面分析技術に関する初心者向けQ&Aを順次掲載することにしました．
　簡単そうに思えて実は答えるのが容易ではない内容を含んでいます．また，表面分析分野では3R（repeatability, replicability, reproducibility【繰り返し精度，復元精度，再現精度】）または4R（3Rs, restorability【再構築精度】）にもとづく計測結果の再現性が問題視されています． この観点では，初心者ではない表面分析関係者も曖昧さのない理解が求められています．
　各々の疑問（Q）に対して，冗長にならないように回答（A）を載せています．

取り上げるべき疑問（Q）をお持ちの方，あるいは回答（A）が正確ではないとお考えの方は，是非当研究部会（hyoumenbunseki(at)jvss.jp）宛に御連絡いただけると幸甚です．

No. 質問 手法
001 オージェピークの強度を微分曲線のピーク高さから求めるのはなぜですか．
Why is the Auger peak intensity obtained from the peak height of the derivative curve?		 (AES)
002 スペクトル全体形状がXPSでは右下がり，AESでは右上がりの形状になるのはなぜですか？
Why is the overall shape of the spectrum falling to the right in XPS and rising to the right in AES?		 (XPS, AES)
003 光電子分光法(XPS)とオージェ電子分光法(AES)とはどのように使い分けたら良いのですか？
How should we differently use x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and Auger electron spectroscopy (AES)?		 (XPS, AES)
004 走査電子顕微鏡(SEM)で加速電圧を変える理由は何でしょうか
Why change the acceleration voltage in scanning electron microscope (SEM)?		 (SEM)
005 なぜXPSの線源はAl Kαが主流なのでしょうか？
Why is Al Kα the most common source for XPS?		 (XPS)
006 XPSの横軸の結合エネルギーは，なぜ左側の値が大きいのですか
Why is the binding energy on the axis of abscissa in XPS larger on the left side?		 (XPS)
007 表面分析はなぜ真空中で行うのですか
Why is surface analysis done in a vacuum?		 (general)
008 表面分析が対象とするサンプルを準備する際，コンタミ防止のために注意すべき点は？
When preparing samples for surface analysis, what precautions should be taken to prevent contamination?		 (general)
009 XPSで水素とヘリウムの分析が出来ないのはなぜですか．
Why can't XPS analyze hydrogen and helium?		 (XPS)
010 AESスペクトルのバックグラウンドはなぜ大きいのですか？
Why is the background in the AES spectrum so large?		 (AES)
011 電子線はどの程度の深さまで固体内に侵入するのですか．
How deep into the solid does the electron beam penetrate?		 (AES)
012 なぜ水素とヘリウムのAESスペクトルはないのですか
Why do no AES spectra exist for hydrogen and helium?		 (AES)
013 測定されたカウント数はなぜカウント数の平方根の誤差を持つのですか．
Why does the measured count have an error of the square root of the count number?		 (AES, XPS)
014 電子の非弾性散乱平均自由行程（Inelastic Mean Free Path, IMFP）は実験的に測定できますか？
Can the electron inelastic mean free path in a solid be measured experimentally?		 (general)
015 1 - 3 keVのエネルギーのArイオンは，AESやXPSで表面をスパッタするために使われているのに，低エネルギーイオン散乱では1 - 3 keVのArイオンを照射して結晶表面の原子配列を調べることができるのはなぜですか．測定中に原子構造は壊れないのでしょうか．
Why is it that Ar ions with energies of 1 - 3 keV are used to sputter surfaces in AES and XPS, while low-energy ion scattering allows us to study atomic arrangements on crystal surfaces by irradiating them with 1 - 3 keV Ar ions? Is the atomic structure not destroyed during the measurement?		 (ISS)
016 TOF-SIMSとD-SIMSは何が違うのですか？
What is the difference between TOF-SIMS and D-SIMS?		 (SIMS)
017 オージェピークをピークフィッティングすることはできませんか．
Is it possible to separate Auger peaks from peaks?		 (AES)
018 XPSは表面敏感な手法と知られていますが、どのくらいの範囲（深さ）を測定しているのでしょうか？
XPS is known to be a surface sensitive method, but what range (depth) is being measured?		 (XPS)
019 Agの1sや2sピークはなぜXPSで観測されないのですか．
Why are the 1s and 2s peaks of Ag not observed by XPS?		 (XPS)
020 繰返し精度と再現精度とは何が違うのですか．
What is the difference between repeatability and reproducibility?		 (general)

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