Q and A(No.3)

オージェピークの強度を微分曲線のピーク高さから求めるのはなぜですか．

　電子線を固体表面に照射すると入射電子により原子が励起され，オージェ電子が発生しますが，オージェ電子以外にも様々なエネルギーの二次電子が生成します．二次電子の総量はオージェ電子の量よりもかなり多く，スペクトルはなだらかな曲線となります．従ってオージェ電子ピークは，なだらかな二次電子のスペクトルに重なった小さなピークとして，検出されます．なだらかなスペクトルを微分すると，微分係数は「０」に近い小さな価になりますが，小さなピークでもなだらかな部分に変化が現れれば，微分係数は大きな価となります．したがって，スペクトルを微分すると，なだらかなバックグラウンドは除去でき，ピークは強調されます．オージェピークの線幅は，オージェ遷移過程と分光器により決まり，濃度には依存しません．すなわち，当該元素の濃度が変化しても同一の装置で測定したオージェピークのピーク線幅とピーク位置はスペクトルを微分しても変わらず，ピーク高さのみが濃度に比例して変化します．結果として，オージェピークの強度を微分曲線のピーク高さから求めるとピーク強度が強調され測定精度が向上することになります．

(ver. 220602)