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熊谷記念真空科学論文賞
| 受賞年度 | 受賞者 |
|---|---|
| 第43回 平成30年度 |
該当なし |
| 第42回 平成29年度 |
該当なし |
| 第41回 平成28年度 |
該当なし |
| 第40回 平成27年度 |
該当なし |
| 第39回 平成26年度 |
杉本敏樹*、武安光太郎**、福谷克之** （*京都大学大学院理学研究科、**東京大学生産技術研究所） 真空容器の排気過程に関する新しい物理的描像の提唱 |
| 第38回 平成25年度 |
該当なし |
| 第37回 平成24年度 |
該当なし |
| 第36回 平成23年度 |
該当なし |
| 第35回 平成22年度 |
松田七美男 （東京電機大学） テーパー管の通過確率の近似式 |
| 第34回 平成21年度 |
該当なし |
| 第33回 平成20年度 |
河瀬和雅*、梅田浩司**、井上真雄**、諏訪智之***、寺本章伸***、服部健雄***、大見忠弘*** （*三菱電機、**ルネサステクノロジ、***東北大学） ラジカル窒化シリコン酸窒化膜における窒素プロファイルのX線光電子分光分析による評価 |
| 第32回 平成19年度 |
杉元 宏 （京都大学工学研究科航空宇宙工学専攻） 熱尖端流によって駆動される真空ポンプ内の希薄気流の数値解析 |
| 第31回 平成18年度 |
該当なし |
| 第30回 平成17年度 |
村田威史、末光眞希 （東北大学学際科学国際高等センター） Si(100)上ゲルマン吸着に伴う水素移動とGe/Si原子交換の観察 |
| 第29回 平成16年度 |
該当なし |
| 第28回 平成15年度 |
的場賢一*、三浦良雄*、笠井秀明*、中西 寛*、三浦良雄**、興地斐男*** （*大阪大学、**科学技術振興財団、***和歌山工業高等専門学校） 走査トンネル顕微鏡によるCu(111)上のCOの分子操作に関する理論 |
| 第27回 平成14年度 |
該当なし |
| 第26回 平成13年度 |
辻󠄀 博司、佐藤弘子、佐々木仁志、後藤康仁、石川順三 （京都大学大学院） 負イオン注入によるポリスチレン表面の神経細胞接着特性の改質とパターン化処理 |
| 第25回 平成12年度 |
該当なし |
| 第24回 平成11年度 |
林 康明、高橋和生、佐藤英則 （京都工芸大学工学部） プラズマ中のダスト挙動の解析とクーロン結晶の形成 |
| 第23回 平成10年度 |
辻󠄀 泰*、田中智成*、竹内協子*、齊藤芳男** （*株式会社アルバック・コーポレートセンター、**高エネルギー物理学研究所） ステンレス鋼製真空容器における水分子の吸着ー付属確率の測定による研究ー |
| 第22回 平成9年度 |
尾高憲二 （株式会社日立製作所機械研究所） ターボ分子ポンプ自身のガス放出の定量評価 |
| 第21回 平成8年度 |
該当なし |
| 第20回 平成7年度 |
石川雄一、大城戸忍、吉村敏彦 （株式会社日立製作所機械研究所） Atomic-order 3-D Compositional Determination of the Surface Oxide Layers Formed on Stainless Steel with Special Reference to Preperation of Extremely Low Outgassing Surface |
| 第19回 平成6年度 |
中島尚男、木村憲泰、佐藤正道、岩根正晃、井上恒一、前橋兼三、長谷川繁彦、松田 理、邑瀬和生 （大阪大学） GaAs(100)微傾斜面上のAlGaAs分子線成長と量子細線構造の形成 |
| 第18回 平成5年度 |
広木成治、阿部哲也、村上義夫 （日本原子力研究所） 四極子質量分析計におけるイオン軌道解析(Ⅰ)、(Ⅱ) |
| 第17回 平成4年度 |
上田一之 （大阪大学） 電子励起イオン脱離実験による真空の質の検討 |
| 第16回 平成3年度 |
該当なし |
| 第15回 平成2年度 |
1.国分清秀、一村信吾、清水 肇 （電子技術総合研究所） 2.一村信吾、国分清秀、清水 肇 （電子技術総合研究所） レーザを用いた圧力計測 1.各種気体のレーザイオン化特性 2.レーザ生成イオンの新しい検出システム |
| 第14回 平成1年度 |
寺田啓子、岡野達雄、辻󠄀 泰 （東京大学生産技術研究所） コンダクタンス変調法による超高真空での真空ポンプの排気速度測定 |
| 第13回 昭和63年度 |
堀越源一 （高エネルギー物理学研究所） 長い一様断面パイプの分子流コンダクタンスの解析と考え方 |
| 第12回 昭和62年度 |
橋詰富博、小林明子、桜井利夫 （東京大学物性研究所） ニッケル・銅二元合金における表面偏析 |
| 第11回 昭和61年度 |
国分清秀、平田正紘、小野雅敏、村上 寛、戸田義継 （電子技術総合研究所） 水晶振動子を用いた摩擦真空計の理論 |
| 第10回 昭和60年度 |
美馬宏司、清井栄信、八木邦夫、兼松 太 （大阪市立大学） 熱陰極電離真空計の比感度係数(1)－衝立型電離真空計 |
| 第9回 昭和59年度 |
荒川一郎、金 文沢、辻󠄀 泰 （東京大学生産技術研究所） 励起中性粒子検出を用いた指向性真空計の研究 指向性真空計による真空装置の漏れ検出－点状気体放出源の測定に関する解析 |
| 第8回 昭和58年度 |
浦本上進 （名古屋大学プラズマ研究所） イオンプレーティングのための大電流長寿命陰極の研究 大面積イオンプレーティングのための高能率シートプラズマ 大体積イオンプレーティングのための大直径プラズマ 高融点金属イオンプレーティングのための電子加速型プラズマ |
| 青野正和 （無機材質研究所） 低速イオン散乱 |
|
| 第7回 昭和57年度 |
清水 肇 （電子技術総合研究所） 銅ニッケル合金の高温スパッタリング：イオン誘起拡散と金属組織の役割 |
| 第6回 昭和56年度 |
杉浦英雄、山口真史 （日本電信電話公社） イオンドーピングを併用したSi分子線エピタキシャル成長 |
| 第5回 昭和55年度 |
柿林博司、毛利 衛、渡辺国昭、山科俊郎 （北海道大学） Cu-Ni合金の表面偏析ならびに変質層の生成過程 |
| 第4回 昭和54年度 |
藤原賢三、金山 清、大谷 誠、尾形仁士 （三菱電機株式会社） オージェ電子分光法による不純物の定量分析 |
| 第3回 昭和53年度 |
入戸野修*、清水三郎** （*東京工業大学、**日本真空技術株式会社） エピタキシャル膜の局所的格子変形のX線二結晶トポグラフ法による測定 |
| 第2回 昭和52年度 |
該当なし |
| 第1回 昭和51年度 |
赤石憲也 （名古屋大学） 変調電極付きBayard-Alpert型電離真空計による超高真空の圧力測定 |
| 高橋 昇、岡田勝蔵 （山梨大学） 18-8ステンレス鋼における仕上面のオージェ電子スペクトロスコピーによる研究 金属仕上面のオージェ電子スペクトロスコピーによる研究 研磨による二酸化モリブデンの表面変形 |
日本表面真空学会 事務局
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