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功績賞
| 受賞年度 | 受賞者 | 所属 |
|---|---|---|
| 第23回 平成29年度 | 河野禎市郎 | 旭化成（株） |
| 第22回 平成28年度 | 高柳邦夫 | 東京工業大学 |
| 長谷川哲也 | 東京大学 | |
| 第21回 平成27年度 | 粉川良平 | （株）島津製作所 |
| 第20回 平成26年度 | 一宮彪彦 | 名古屋大学 名誉教授 |
| 中村友二 | （株）富士通研究所 | |
| 第19回 平成25年度 | 吉原一紘 | 物質・材料研究機構 |
| 越川孝範 | 大阪電気通信大学工学部 | |
| 第18回 平成24年度 | 元廣友美 | （株）豊田中央研究所、名古屋大学グリーンモビリティ連携研究センター |
| 鈴木峰晴 | パーク･システムズ･ジャパン（株） | |
| 第17回 平成23年度 | 岩槻正志 | 日本電子（株） |
| 笹川 薫 | （株）コベルコ科研 | |
| 第16回 平成22年度 | 岩澤康裕 | 電気通信大学 |
| 第15回 平成21年度 | 該当者なし | |
| 第14回 平成20年度 | 二瓶好正 | 東京理科大学 |
| 第13回 平成19年度 | 大岩烈 | オミクロン ナノテクノロジー ジャパン（株） |
| 第12回 平成18年度 | 副島啓義 | （株）島津製作所 |
| 第11回 平成17年度 | 該当者なし | |
| 第10回 平成16年度 | 前田正雄 | 金沢工業大学 |
| 第9回 平成15年度 | 平木 昭夫 | 大阪大学 |
| 第8回 平成14年度 | 田村一二三 | 拓殖大学 |
| 第7回 平成13年度 | 杉田利男 | 東京理科大学 |
| 第6回 平成12年度 | 該当者なし | |
| 第5回 平成11年度 | 該当者なし | |
| 第4回 平成10年度 | 内島俊雄 | 筑波大学名誉教授 |
| 第3回 平成9年度 | 金持徹 | 神戸大学名誉教授 |
| 新居和嘉 | 住友金属工業 | |
| 第2回 平成8年度 | 菅野卓雄 | 東京大学名誉教授 |
| 馬場宣良 | 首都大学東京名誉教授 | |
| 第1回 平成7年度 | 井上勝也 | 千葉大学名誉教授 |
| 岡田正和（故） | 広島大学名誉教授 | |
| 坂田亮 | 慶応大学名誉教授 | |
| 島岡五朗 | 静岡大学名誉教授 | |
| 難波義捷 | 東京農工大学名誉教授 |
日本表面真空学会 事務局
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