2025-03-28
2024年度のSP部会賞を、以下の業績に贈呈することと決定いたしました。
受賞者:中川原 修、服部 梓(I-PEX Piezo Solutions 株式会社)
業績業績:多層バッファーを用いたSi 基板上での圧電単結晶薄膜の実用化およびエピタキシャル成長メカニズムの解明
SP部会賞ならびに本業績の審査の経緯に関する詳細は
https://www.jvss.jp/jpn/activities/40/prize.php
をご覧ください。
日本表面真空学会 事務局
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