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[ml] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第182回定例研究会のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；中野武雄（成蹊大学、日本表面真空学会SP部会長）

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第182回定例研究会
「レーザーと物質科学：プロセスと応用」

レーザーは物質科学の様々な分野で活用されています。例えば、レーザーアニールという技術としてシリコンウェーハの高品質化、機能性物質を創製する方法、また、表面処理や微細加工のために使用されています。省エネ・環境負荷軽減が求められる現在、効率的なレーザー技術の利用は益々増えると予想されます。
本研究会では、第一線で活躍されている研究者に、レーザーと物質科学に関する研究について、プロセスや応用例を中心にご講演していただきます。研究会を通してレーザーと物質科学の現状を把握するとともに、今後のレーザー活用について展望します。また、これにあわせて今年度もSP部会賞を受賞する運びとなりました。
本研究会に先立ち、授賞式および受賞記念講演を行います。多くの皆様のご参加をお待ち申し上げます。

開催日時： 2025年5月29日（木）13:30～17:30
開催場所：ヒカリホールディングス 2階会議室B
　　　　（〒700-0904 岡山県岡山市北区柳町1丁目4-8）

プログラム：
13:30～13:35　開会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会部会長　中野武雄（成蹊大学）

2024年度SP部会賞授賞式
13:35～13:45　審査経緯の報告
　日本表面真空学会SP部会副部長　清水徹英（東京都立大学）
受賞者：中川原修、服部梓（I-PEX Piezo Solutions株式会社）
受賞業績：多層バッファーを用いたSi基板上での圧電単結晶膜の実用化およびエピタキシャル成長メカニズムの解明
13:45～14:15　SP部会賞受賞記念講演
　服部　梓（I-PEX Piezo Solutions株式会社）

講演　※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
14:30～15:10「パワーレーザーを用いた高エネルギー密度物質探査の現状と展望」
　兒玉了祐（大阪大学レーザー科学研究所）
15:10～15:50「金属・半導体のレーザー微細加工とその現象観察」
　中村大輔（九州大学システム情報科学研究院）
15:50～16:05　休憩
16:05～16:45「短パルスレーザー加工の波長依存性」
　藤田雅之（レーザー技術総合研究所）
16:45～17:25「軟X線レーザーによるアブレーション研究」
　石野雅彦（量子科学技術研究機構関西光量子科学研究所）
17:25～17:30　閉会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会副部会長　清水徹英（東京都立大学）
18:00～20:00　懇親会

参加費（資料代・消費税を含む）
　SP部会員：無料
　日本表面真空学会個人正会員：23,000円
　日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
　教育機関、公的機関に属する方：12,000円
　学生： 5,000円
　一般：28,000円

懇親会費：5,000円（現地にて現金でお支払いください。）

参加定員：40名

申込方法：ホームページよりお申込みください。
　https://www.jvss.jp/jpn/activities/40/detail.php?eid=00028

申込締切：2025年5月16日（金）

問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会事務局
　　　　　E-mail: office＠jvss.jp

＜本メールは日本表面真空学会より会員の皆様宛に配信しております。＞