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[ml] 次世代真空エレクトロニクス技術部会（FVE部会）第2回定例研究会のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；後藤康仁（京都大学、日本表面真空学会FVE部会長）

次世代真空エレクトロニクス技術部会（FVE部会）
第2回定例研究会
真空エレクトロニクスの最前線「マイクロフォーカスX線源」

製造業における品質管理の重要性の高まり、半導体製造後工程でのパッケージ検査等のため、精密非破壊検査が可能なマイクロフォーカスX線源の需要が増加しています。マイクロフォーカスX線源の性能向上には、X線発生金属ターゲット上で如何に大電流密度を維持しながら電子ビーム収束スポットを微小化するかが課題であり、電子放出源とも密接に関連する技術です。今回、マイクロフォーカスX線をメインテーマとする研究会を企画しました。最先端の研究をご紹介いただくとともに、次世代マイクロフォーカスX線源に期待される電子源の性能や、その実用化に向けた有益な議論の場となることを期待いたします。

開催日時： 2025年3月13日（木）13:40～16:40
開催場所：機械振興会館地下3階 B3-2会議室およびオンライン
　　　　　（東京都港区芝公園3-5-8）

講演プログラム：
13:40～13:45 開会の挨拶
　日本表面真空学会FVE部会部会長　後藤康仁（京都大学）
1．真空エレクトロニクスの最前線「マイクロフォーカスX線源」
13:45～14:45「産業用X線源に求められる電子源の概要とその特性」
　塚本健夫（三条市立大学）
14:45～15:45「カーボンナノ系冷陰極X線管の技術動向」
　大野誠弥（明電舎）
15:45～16:05　休　憩
2. 研究紹介
16:05～16:35　部会員による研究紹介
16:35～16:40　閉会の挨拶

参加費（資料代・消費税を含む）
　FVE部会員：無料
　日本表面真空学会個人正会員：18,000円
　日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
　教育機関、公的機関に属する方：12,000円
　学生： 5,000円
　一般：23,000円

参加定員：対面 35名、オンライン 50名

申込方法：ホームページよりお申込みください。https://www.jvss.jp/
※法人部会員（下記6社）に属する方は、担当者が取りまとめの上、直接FVE部会宛にお申込みください。
　・株式会社アールデック
　・キヤノンアネルバ株式会社
　・デンカ株式会社
　・浜松ホトニクス株式会社
　・株式会社日立製作所
　・株式会社日立ハイテク
法人部会員申込先： FVE部会 fve@jvss.jp

申込締切： 2025年2月27日（木）
問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会事務局
　　　　　 E-mail: office＠jvss.jp

＜本メールは日本表面真空学会より会員の皆様宛に配信しております。＞