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[ml] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）2024年度勉強会のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；中野武雄（成蹊大学、日本表面真空学会SP部会長）

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
2024年度勉強会
「ISSP2024 開催報告および受賞講演レビューセッション」

International Symposium on Sputtering and Plasma Processes（ISSP）は、第1回目の開催となった1991年以降、基礎研究、材料開発から、製品化技術に至る幅広い情報を交換・議論する場として隔年開催され、第17回目を迎えるISSP2024が本年2024年7月に京都で開催されました。"A new dawn of sputtering & plasma processes towards sustainable development" というメイントピックのもと、第一線でご活躍の研究者・技術者の方々をはじめ、当該分野に関する最先端の研究トピックスに関して多くのご講演をいただき、大変盛況な会となりました。本企画では、主に本会議に参加が出来なかった皆様を対象に、関連トピックスについて受賞講演者をお招きし、本会議の内容を振り返る勉強会を実施いたします。多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

開催日時： 2024年11月19日（火）15:00～17:45
開催方法：オンライン（Zoom）

プログラム：
15:00～15:05　開会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会副部会長　清水徹英（東京都立大学）
15:05～15:45
「ISSP2024開催概要およびオーラルセッションの総合レビュー」(30分講演10分質疑)
　清水徹英（東京都立大学）
15:45～16:15　Student Award 講演1
「RF/DCスパッタリングによるTi/SiOx多層膜の自己伝播発熱反応に及ぼす酸素含有量の影響」(20分講演10分質疑)
　福田涼太（京都先端科学大学）
16:15～16:30　休憩
16:30～17:00　Student Award 講演2
「Low temperature growth of highly crystallized AlN by using microwave plasma assisted HiPIMS at very low N2 flow rates」(20分講演10分質疑)
　Caroline Hain（Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology、スイス）
17:00～17:40　Best Paper Award講演
「Heterostructural decomposition and planar defect formation in ternary
V1-xWxB2-delta and V1-xMoxB2-delta films」(30分講演10分質疑)
　Katarína Viskupová（Comenius University in Bratislava、スロバキア）
17:40～17:45　閉会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会　小寺恭介（昭和真空）