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[ml] VACUUM2024真空展「薄膜の基本技術講座」のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；神谷潤一郎（原子力機構、薄膜の基本技術講座担当）

VACUUM2024真空展併催
「薄膜の基本技術講座」のご案内

薄膜作製技術は真空工学の重要な応用技術です。
本講座では薄膜作製に使われる真空環境構築に必要な超高真空技術、産業的にも重要な成膜法である真空蒸着やスパッタリングについて解説します。また、デバイス製造へ実用化されているプラズマプロセス技術についても解説します。全４回の講座は、専門に特化した別々の魅力的な内容となっています。ぜひご参加ください。

●9月19日(木)　12:30-14:30
「真空蒸着法、有機EL製造技術～真空の”質”：その重要性と影響～」
　講師；藤本弘（有機光エレクトロニクス実用化開発センター）

●9月19日(木)　15:00-17:00
「スパッタ薄膜の組成及び構造制御」
　講師；沖村邦雄（東海大学）

●9月20日(金)　12:30-14:30
「サブナノメートル半導体デバイス製造にむけたプラズマプロセス技術」
　講師(予定)；浜口智志（大阪大学）

●9月20日(金)　15:00-17:00
「超高真空技術」
　講師；山川紘一郎（日本原子力研究開発機構）

会　場：東京ビッグサイト東ホール2F 東5-商談室(4)
定　員：各講座とも30名
受講料：一般6,000円/講座、学生1,500円/講座（テキスト代・消費税込）
申込締切：2024年9月5日（木）

内容、申込方法等の詳細につきましては日本表面真空学会ホームページをご覧ください。
　https://www.jvss.jp/

問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会事務局
　　　　　E-mail: office@jvss.jp

＜本メールは日本表面真空学会より会員の皆様宛に配信しております。＞