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[ml] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第175回定例研究会のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；後藤康仁（京都大学、日本表面真空学会SP部会長）

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第175回定例研究会
「プラズマプロセスの“見える化”に貢献する最新プラズマ診断技術の動向」

　IoT技術の発展に伴い、製造プロセスの可視化技術の重要性が増しております。半導体製造や機能性薄膜形成に用いられるプラズマプロセス開発におけるプラズマ物理現象の理解に対して古くから用いられてきたプラズマ診断技術も、プロセス制御やプロセス管理の視点においてその重要性が見直されております。本研究会では、プラズマの分光計測を始めとしたプラズマ診断技術およびその活用事例における技術動向を、大学及び国立研究機関から最前線でご活躍中の講師をお招きして講演して頂きます。多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

開催日時： 2023年9月13日（水）13:30～16:20
開催場所：機械振興会館 6階6D-4会議室およびオンライン（Zoom）

プログラム： ※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
13:30～13:35　開会の挨拶
日本表面真空学会SP部会　部会長　後藤康仁（京都大学）

13:35～14:15
「低温検出器を用いたエネルギー分散型一分子検出技術とその応用」
　志岐成友（産業技術総合研究所）

14:15～14:55
「飛行時間質量分析計による高出力パルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)の多成分リアルタイム分析法の開発と展望」
　實方真臣（東京工芸大学）

14:55～15:15　休　憩

15:15～15:55
「大気および液中におけるプラズマの分光計測」
　山田大将（国立高専機構長野高専）

15:55～16:00　閉会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会　副部会長　清水徹英（東京都立大学）

参加費（資料代・消費税を含む）
　SP部会員：無料
　日本表面真空学会個人正会員：23,000円
　日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
　教育機関、公的機関に属する方：12,000円
　学生： 5,000円
　一般：28,000円

参加定員： 70名（先着順にて定員に達し次第締め切ります。）

申込方法：ホームページよりお申込みください。
　　　　　 https://www.jvss.jp/

申込締切： 2023年8月30日（水）

問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会事務局
　　　　　 E-mail: office＠jvss.jp