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[ml_612] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第174回定例研究会のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；後藤康仁（京都大学、日本表面真空学会SP部会長）

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第174回定例研究会

　例年、新たにSP部会幹事にお加わり頂いた方を中心に研究内容を紹介頂く定例研究会は例年12月の技術交流会と併せて実施しておりました。
今年度は、12月に開催した第172回定例研究会は国際ワークショップとなり、技術交流会のみの実施になりましたので、新幹事の研究紹介を今回第174回定例研究会にて行います。
また、これに併せて今年度もSP部会賞を授賞する運びとなりました。本研究会に先立ち、授賞式及び受賞記念講演を行います。
多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

日時：2023年3月14日（火）13:00～16:30
会場：機械振興会館 6階6D-4会議室およびオンライン（Zoom）
　　　〒105-0011　東京都港区芝公園3-5-8

プログラム
13:00～13:05 開会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会　部会長　後藤康仁（京都大学）

2022年度SP部会賞授賞式
13:05～13:15
　審査経緯の報告　日本表面真空学会SP部会副部会長　清水徹英（東京都立大学）
　受賞者：中野賢明、平松大典、沼田幸展（株式会社アルバック）
　受賞業績：ストレスコントローラブル高密度TiN膜成膜手法『ULTiNA』

13:15～13:45　SP部会賞受賞記念講演
　沼田幸展（株式会社アルバック）

13:45～14:05　休　憩

講演　※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
14:05～14:45
「相分離を活用したナノ構造膜の作製」
　村岡祐治（岡山大学）

14:45～15:25
「グラファイト薄膜の金属誘起層交換合成とデバイス応用」
　村田博雅（産業技術総合研究所）

15:25～15:45　休　憩

15:45～16:25
「株式会社オプトランの要素技術および関連装置のご紹介」
　谷口日向（株式会社オプトラン）

16:25～16:30　閉会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会幹事　駒垣幸次郎（村田製作所）

参加費（資料代・消費税を含む）
　SP部会員：無料
　日本表面真空学会個人正会員：23,000円
　日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
　教育機関、公的機関に属する方：12,000円
　学生： 5,000円
　一般：28,000円

参加定員：80名（現地40名、オンライン40名）