公益社団法人 日本表面真空学会



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[ml_595] 第28回電子デバイス界面テクノロジー研究会「-材料・プロセス・デバイス特性の物理-」のご案内

対象:会員および一般

速報発信者;住友弘二(応用物理学会薄膜・表面物理分科会幹事長)


本研究会は、産・官・学の第一線の研究者がデバイス界面に関する様々なテーマについて
基礎から応用まで理論と実験の両面から深く議論し,関連分野の発展に貢献することを
目的としています。各分野からの招待講演者のほかに,一般の口頭発表,ポスター発表もございます。
皆様のふるってのご参加をお待ちしております。

■日時:2023年2月3日(金)~2月4日(土)

■場所:東レ総合研修センター(静岡県三島市)

■プログラム:
Ⅰ チュートリアル講演
井上 史大 (横浜国立大学)
「前工程と後工程の垣根を超えた3D集積技術」

Ⅱ 基調講演
川畑 史郎 (産業技術総合研究所)
「量子未来社会のための量子コンピュータ技術:基礎から最先端まで」

小池 淳義 (ウエスタンデジタルジャパン)
「TBA」

Ⅲ 海外招待講演
TBA

Ⅳ 招待講演
吾郷浩樹 (九州大学)
「2次元物質から2.5次元物質科学へ(仮)」

須賀 唯知 (東京大学/明星大学)
「先端3D集積技術としての表面活性化常温接合」

田中 啓安 (キオクシア株式会社)
「BiCS(3D-Flashメモリ)技術の現状と展望(仮)」

浜井 貴将(キオクシア株式会社)
「HfO-FeFETの動作メカニズム解析」

Ⅴ 企画セッション
“カーボンニュートラルに貢献する半導体産業”
パネリストなど詳細は決まり次第HPに掲載いたします.

■参加費:
応用物理学会会員・協賛学協会会員:21,000円
学生およびシニア(2022年12月31日時点で満65歳以上):10,000円
一般:26,000円
当日一般:30,000円

■詳細情報及び参加登録方法:http://www.edit-ws.jp/

■問い合わせ先:EDIT28事務局 registration@edit-ws.jp



日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL:03-3812-0266 FAX:03-3812-2897 Email:

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