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[ml_553] VACUUM2022真空展併催「薄膜の基本技術講座」のご案内
対象：会員および一般
速報発信者；桑島淳宏（教育・育成委員会委員長）
VACUUM2022真空展併催
「薄膜の基本技術講座」のご案内
2022年10月19日（水）～21日（金）に東京ビッグサイトにて
「VACUUM2022真空展」を開催いたします。
https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/
日本表面真空学会では、薄膜の基本技術講座を下記の内容にて
全6講座開催いたします。
真空展へのご来場に合わせ、ぜひご参加ください。
●10/19（水）12:30～14:30
「真空排気システム、非蒸発型ゲッター蒸着」間瀬 一彦（高エネルギー加速器研究機構）
●10/19（水）15:00～17:00
「スパッタ薄膜の組成及び構造制御 －酸化物を中心に－」沖村 邦雄（東海大学）
●10/20（木）12:30～14:30
「真空プロセスで取り扱う化学物質の危険性と対策」関口 敦（工学院大学）
●10/20（木）15:00～17:00
「半導体・LSIの薄膜技術:デバイス、プロセスと材料評価」中村 友二（東京工業大学）
●10/21（金）12:30～14:30
「超高真空技術」山川 紘一郎（日本原子力研究開発機構）
●10/21（金）15:00～17:00
「スピントロニクスデバイスの製造装置」 恒川 孝二（キヤノンアネルバ(株)）
＊各講座の詳細につきましては下記ページをご参照ください。
https://www.jvss.jp/jpn/activities/26/detail.php?eid=00010
会 場：東京ビッグサイト 西ホール2階 西2-商談室(2)
定 員：各講座とも30名
受講料：各講座とも 一般5,000円、学生1,000円（資料代・消費税込）
＊当日講義会場前の受付にて現金でお支払いください。
申込方法：VACUUM2022真空展ホームページよりお申込みください。
講演・セミナー等申込ページ https://autumnfair.nikkan.co.jp/webinar
（申込には真空展への入場登録が必要です。）
問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会 事務局
E-mail: office@jvss.jp TEL 03-3812-0266
日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL：03-3812-0266 FAX：03-3812-2897 Email：