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[ml_294] SP部会第164回定例研究会(9/7オンライン開催)のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；後藤康仁（京都大学、日本表面真空学会SP部会長）

　　スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第164回定例研究会「スパッタ等の真空プロセスでつくる発光・受光デバイス」

　LEDやフォトダイオード、太陽電池などソリッドステートの発光・受光デバイスは、既に私たちの暮らしになくてはならないものになっています。当初これらのデバイスの発光層やパッシベーション層の作製にはCVDが用いられてきましたが、大面積化やコストの要求から、スパッタプロセス・プラズマプロセスの適用例も多く見られるようになってきました。今回の研究会では、スパッタやALDプロセスに様々な工夫をこらし、これらの物性改善に繋げた例を紹介いただきます。また会の冒頭では、2019年度SP部会賞の授賞式ならびに記念講演も実施します。
　今回の研究会は当初3月に予定されていましたが、新型コロナウイルスの感染拡大を受け延期となっておりました。現在も対面での実施が困難なことから、今回、Web会議形式で開催する運びとなりました。研究会として初の試みとなりますが、多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

日　時：2020年9月7日(月) 13:00～16:45（接続受付12:30～）

開催方法：Web会議形式（Zoomを予定）

プログラム
13:00～13:05　開会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会部会長（京都大学）後藤康仁

【2019年度SP部会賞授賞式】
13:05～13:10　審査経緯の報告
　日本表面真空学会SP部会副部会長（成蹊大学）中野武雄
　受賞者：東京電子株式会社、中谷達行（岡山理科大学）、福江紘幸（岡山理科大学）
　受賞業績：HiPIMS用プラズマ電源の開発

13:10～13:40　SP部会賞受賞記念講演
「アーク抑制および成膜レート向上を目的とした大電力パルススパッタ電源の技術開発」
　〇黒岩雅英1、中谷達行2、福江紘幸3（1東京電子(株)、2岡山理科大、3岡山理科大院）

【講演】※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
13:40～14:20
「機能性酸化物・窒化物薄膜の長尺低温形成に向けた反応性プラズマプロセスの開発」
　節原裕一（大阪大学）

14:20～15:00
「スパッタと高温アニールによる高結晶性AlN膜の作製」
　三宅秀人（三重大学）

15:00～15:20　休憩

15:20～16:00
「原子層堆積法で作製した酸化チタンの高性能パッシベーション効果の発現機構」
　後藤和泰（名古屋大学）

16:00～16:40
「RFスパッタ堆積した酸化物半導体材料と透明インテリジェントデバイスの開発」
　杉山　睦（東京理科大学）

16:40～16:45　閉会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会副部会長（成蹊大学）中野武雄

参加費：申込受付完了後、請求書を発送します。
　ＳＰ部会会員　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　無　料
　日本表面真空学会個人正会員　　　　　　　　　　　　　　　23,000円
　日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員所属の方　18,000円
　教育機関、公的機関に属する方　　　　　　　　　　　　　　12,000円
　学　生　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 5,000円
　一　般　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　28,000円

参加定員：70名

申込方法：ホームページよりお申込みください。
　　　　　https://www.jvss.jp/

申込締切：2020年8月28日（金）

問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会事務局
　　　　　 E-mail: office＠jvss.jp