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[ml_107] 日本表面真空学会 2019年1月研究例会(1/30)のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；後藤康仁（京都大学，日本表面真空学会研究例会企画専門部会）

　　　　　日本表面真空学会 2019年1月研究例会
　　主題「表面改質や被覆による真空材料の高性能化」

　真空装置に用いられる真空用材料としては，容器用材料や機械系部品
材料ではステンレス鋼が，また，非蒸発真空排気材にはチタン等が用い
られていますが，真空環境の圧力安定化やクリーン化，さらに，格段の
性能向上をはかるためには，材料表面層に酸化膜作製や蒸着法を用いた
表面被覆が行われております．そこで，本研究例会では，低ガス放出化
表面クリーン技術や表面層酸化処理，ならびに，ゲッタ特性の被覆によ
る真空排気性能の向上，また，表面層改質や被覆による超伝導加速性能
の向上，さらに，被覆による真空潤滑性能の向上等，表面層改質や被覆
による真空用材料の高性能化について，第一線の研究者の方々によりご
講演いただき，真空材料の高性能化について議論の機会を設けました．
真空分野に関わる皆様の多数のご参加をお持ちいたします．

日時：2019年1月30日（水）13:00～16:45（受付12:40～）

会場：機械振興会館　地下3階 B3-1号室
　　　（東京都港区芝公園3−5−8）
　　　 http://www.jspmi.or.jp/about/access.html

協賛：一般社団法人日本真空工業会，日本放射光学会，日本材料科学会，TIAかけはし

講演プログラム：
13:00～13:05　開会の挨拶
（日本表面真空学会研究例会企画専門部会）後藤　康仁

13:05～13:45　（(株)アルバック）稲吉さかえ
「真空容器内壁の高精密表面処理」

13:45～14:25　（物質・材料研究機構）土佐　正弘
「BN表面析出による真空容器の低ガス放出化」

14:25～15:05　（高エネルギー加速器研究機構）谷本　育律
「マグネトロンスパッタによるTi-Zr-V系NEGコーティング」

15:05～15:20　休憩

15:20～16:00　（高エネルギー加速器研究機構）加藤　茂樹
「超伝導加速空洞のプラズマ励起原子層被覆」

16:00～16:40　（(株)トヤマ）丸山　敏征
「超高真空対応二硫化モリブデン固体潤滑膜」

16:40～16:45　閉会の挨拶
（日本表面真空学会研究例会企画専門部会）土佐　正弘

参加費（当日受付にてお支払いください．）：
　　　日本表面真空学会会員＊　3,000円（予稿集代を含む）
　　　　＊個人正会員，法人正会員，維持会員，賛助会員
　　　協賛学協会会員　　　　　3,000円（予稿集代を含む）
　　　非会員　　　　　　　　　5,000円（予稿集代を含む）
　　　学　生　　　　　　　　　無　料（予稿集代1,000円）

申込方法：ホームページよりお申込みください．
　　　　　https://www.jvss.jp/

問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会事務局
　　　　　TEL：03-6801-6264　　FAX：03-3812-2897
　　　　　E-mail：office@jvss.jp