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[ml_079] 日本表面真空学会 SP部会平成30年度第1回勉強会(11/6)のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；後藤康仁（京都大学，日本表面真空学会SP部会長）

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
　　　　　　平成30年度第1回勉強会
「スパッタリング法により堆積された薄膜のマクロ・ミクロ構造～Thorntonモデル再訪～」

日　時：2018年11月6日（火）
　　　　14:00～17:00（受付13:30～）
14:00～16:00 ラウンドテーブル勉強会
　　　　16:00～17:00 懇親会・自由討議

場　所：金沢工業大学東京事務所会議室
　　　　（東京都港区虎ノ門3-17-1　TOKYU REIT虎ノ門ビル6階）
　　　　　http://www.kanazawa-it.ac.jp/about_kit/access.html

話題提供・コーディネーター：
　　金沢工業大学高信頼理工学研究センター教授草野英二

勉強会概要：
　■ スパッタリング法に堆積された薄膜の特徴とは？Thorntonモデルとは？マク
ロ・ミクロ構造の考え方とは？
　■ ThorntonモデルにおけるZone分けの論理的根拠とは？
　■ 基板に到達した粒子の基板上における運動は？
　■ 実用において，より安定により良い物性を示す薄膜を堆積する条件は？
　詳細はホームページをご覧ください．
　　https://www.jvss.jp/

参加費（資料代・消費税含む）：当日受付にてお支払いください．
　　SP部会会員　　　　　　　無　料
　　日本表面真空学会会員　　￥3,000
　　学　生　　　　　　　　　￥1,000
　　一　般　　　　　　　　　￥5,000

申込方法：ホームページよりお申込みください．
　　　　　https://www.jvss.jp/

申込締切：2018年11月5日（月）

※人数を限っての開催となります．申し込みは事前に行ってください．
　なお，SP部会会員を優先とさせていただきます．

問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会事務局
E-mail：office@jvss.jp
　　　　　TEL：03-6801-6264　　FAX：03-3812-2897