メーリングリスト

[ml_076] 日本表面真空学会産学連携委員会平成30年11月例会(第301回)のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；入江則裕（入江工研，日本表面真空学会産学連携委員会）

　　日本表面真空学会産学連携委員会
　　平成30年11月例会（第301回）

　当委員会の例会は，大学や公的研究機関からと企業からの2名の講師を招いて
真空技術に係わる話題を講演していただくことを基本形として開催しています．
11月例会は，真空ポンプの話題をテーマに開催いたします．高エネルギー加速器
研究機構の間瀬先生にはゲッターポンプについて，特に，最近開発された新規で
工夫された構成の非蒸発型ゲッターポンプについて講演をいただきます．そして
企業からは，ドライポンプ製造大手の(株)荏原製作所より講師を派遣していただ
きました．塩川篤志様には荏原製作所のドライポンプの歴史を含めた機能，性能
について講演していただきます．2講演とも非常に興味深い内容です．
皆さま多数のご参加をお待ちいたします．

日　時：平成30年11月7日（水）14:00～16:30（受付13:30～）

場　所：機械振興会館　地下3階　B3-1号室
　　　　（東京都港区芝公園3-5-8／東京タワー前）
　　　　 http://www.jspmi.or.jp/about/access.html

参加費：無料

プログラム：
14:00～14:10　開会挨拶（日本表面真空学会産学連携委員会副委員長）入江則裕

14:10～15:10
1．半導体製造プロセスとドライ真空ポンプに要求される機能の変遷
（株式会社荏原製作所精密・電子事業カンパニー
　精密機器事業部精密機器技術部長）塩川篤志

［講演要旨］
　当社は1980年代後半より，主に半導体製造装置向けのドライ真空ポンプを販売
してきた．半導体製造プロセスの進歩に伴い，ドライ真空ポンプに必要とされる
機能に関しても，様々な変遷がある．当社の製品群とその機能の移り変わりを紹介する．

15:10～15:30　休憩

15:30～16:30
2．無酸素Pd/Ti成膜を利用した非蒸発ゲッター型コーティング，非蒸発ゲッター型ポ
ンプの開発
（高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所准教授）間瀬一彦

［講演要旨］
　我々は無酸素パラジウム/チタン（Pd/Ti）薄膜を利用した新しい非蒸発型ゲッター
コーティングを開発した．大気曝露と活性化を繰り返しても排気性能が低下せず，
活性化温度が150℃程度と低いことが特長である．無酸素Pd/Ti成膜した真空容器
は150℃，3時間のベークにより，排気開始から5時間程度で10-8Pa台に到達する
ことを確認した．また，Pd/Ti成膜を利用した非蒸発型ゲッターポンプを開発した．

交流会：講演終了後～18:30
　　　　場所：「うすい」（機械振興会館地下3階）
　　　　会費： 3,000円

申込方法：ホームページよりお申し込みください．
　　　　　https://www.jvss.jp/

申込締切：2018年11月6日（火）

問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会事務局
　　　TEL： 03-6801-6264　　FAX： 03-3812-2897
　　　E-mail： office@jvss.jp