日本表面真空学会

2025年3月13日（木）13:40～16:40（入室開始時間：現地、オンラインともに13:20～）

機械振興会館 地下3階 B3-2会議室およびオンライン
（〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8）

製造業における品質管理の重要性の高まり、半導体製造後工程でのパッケージ検査等のため、精密非破壊検査が可能なマイクロフォーカスX線源の需要が増加しています。マイクロフォーカスX線源の性能向上には、X線発生金属ターゲット上で如何に大電流密度を維持しながら電子ビーム収束スポットを微小化するかが課題であり、電子放出源とも密接に関連する技術です。今回、マイクロフォーカスX線をメインテーマとする研究会を企画しました。最先端の研究をご紹介いただくとともに、次世代マイクロフォーカスX線源に期待される電子源の性能や、その実用化に向けた有益な議論の場となることを期待いたします。

講演プログラム
13:40～13:45　開会の挨拶
　日本表面真空学会FVE部会 部会長　後藤 康仁（京都大学）

1．真空エレクトロニクスの最前線「マイクロフォーカスX線源」
13:45～14:45
「産業用X線源に求められる電子源の概要とその特性」
　塚本 健夫（三条市立大学）

14:45～15:45
「カーボンナノ系冷陰極X線管の技術動向」
　大野 誠弥（明電舎）

15:45～16:05　休　憩

2. 研究紹介
16:05～16:35　部会員による研究紹介

16:35～16:40　閉会の挨拶

懇親会（参加費5,000円）
17:00～19:00　機械振興会館地下3階「お食事処うすい」にて開催

対面 35名、オンライン 50名

FVE部会員（法人部会員については定められた人数の範囲内）：無料
日本表面真空学会個人正会員：18,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
教育機関、公的機関に属する方：12,000円
学生： 5,000円
一般：23,000円
（資料代・消費税を含む）

＊日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員の企業名はこちらをご確認ください。

懇親会参加費：5,000円（消費税込）当日現金にてお支払いください。
＊3月6日以降のキャンセルは参加費5,000円全額をお支払いいただく可能性がございます。

こちらの申込フォームからお申込みください。
※お申込み完了後、受付完了メールが自動返信されます。
　受付完了メールが届かない場合は、office@jvss.jp へご連絡ください。

なお、法人部会員（下記6社）に属する方は、本申込フォームからではなく、担当者が取りまとめの上、直接FVE部会宛にお申込みください。
・株式会社アールデック
・キヤノンアネルバ株式会社
・デンカ株式会社
・浜松ホトニクス株式会社
・株式会社日立製作所
・株式会社日立ハイテク

法人部会員（上記6社）申込先　FVE部会: fve@jvss.jp

申込締切　2025年2月27日（木）

銀行振込
＊申込受付完了後、請求書をメール添付でお送りします。
（銀行振込のため領収書は発行いたしません。ご了承ください。）

＊「参加者の都合による取消し及び不参加」の場合、参加費の払い戻しはいたしません。ただし、参加者の変更は差し支えありません。

＊懇親会参加費は現地受付で現金にてお支払いいただきます。なるべくおつりが無いようにご協力お願いいたします。

問合せ先
　公益社団法人日本表面真空学会 事務局
　E-mail: office@jvss.jp　　TEL: 03-3812-0266

本件担当
　日本表面真空学会 FVE部会　村上 勝久（産業技術総合研究所）