公益社団法人 日本表面真空学会



真空技術部会2022年12月研究例会

主催

日本表面真空学会

開催日

2022年12月7日(水)13:00~18:00(現地/接続受付12:30~)

締切日

2022年11月28日

会場

機械振興会館 地下3階 研修-2会議室 およびオンライン(Zoom)
(〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8)

※新型コロナウイルスの感染状況によってはオンラインのみの開催となる場合があります。

プログラム

主題「ドライ真空ポンプの最新動向」

 ドライ真空ポンプは、クリーンな排気が実現できる粗引きポンプとして1980年代後半から半導体製造設備を中心に使用台数を増やしてきました。現在では、半導体用途向けで、年間10万台以上の需要があると言われております。また、分析・計測分野や食品・医薬分野など幅広い分野において、排気システムのクリーン化、メンテナンス頻度低減及び省エネルギー化の観点から、ドライ真空ポンプの適用範囲が広がっており、気軽に利用できる真空ポンプの1つとなっています。
 そこで、今回はドライ真空ポンプに関する基本原理・構造・歴史などについて振り返った上で、ドライ真空ポンプを製造しているメーカ各社から、製品に適用されております最新の特長・技術及びその効果をご発表頂きます。また、ドライ真空ポンプをユーザーの立場でご使用なさっている方々から、活用事例、課題及び要望などをご講演頂きます。
 ドライ真空ポンプは、会員の皆様にとりまして身近な真空機器の一つと思われます。本研究例会が、ドライ真空ポンプを進化・発展させてきた技術者の方々と、様々な用途でご活用なさっている方々に有益な情報を提供できる場となること、また自由活発な議論を行う場になることを願っております。皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

講演プログラム
開会の挨拶 (真空技術部会副部会長)山本 将博 13:00~13:05
1.ドライ真空ポンプ概論 13:05~13:45
  (株式会社大阪真空機器製作所)濱口 宗久
2.ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 13:45~14:05
  (アルバック機工株式会社)山中 秋広
3.ルーツ式ドライ真空ポンプ製品開発への取り組み 14:05~14:25
  (株式会社アンレット)竹田 昌史
4.完全オイルフリー スクロールポンプ “nXDS” 14:25~14:45
  (エドワーズ株式会社)水野ゆかり
5.中負荷向けドライ真空ポンプEV-X型 14:45~15:05
  (株式会社荏原製作所)荒井 秀夫
休憩  15:05~15:15
6.新型空冷ドライポンプNeoDry-Gシリーズ 15:15~15:35
  (樫山工業株式会社)松本 知也
7.一般産業向けドライ真空ポンプSST型 15:35~15:55
  (神港精機株式会社)濃野 勝人
8.Pfeiffer社製ドライ真空ポンプの特徴と主要用途 15:55~16:15
  (伯東株式会社)田中泰士郎
9.ターボ分子ポンプに対するドライ真空ポンプの役割 16:15~16:40
  (株式会社島津製作所)太田 知男
10.加速器におけるドライポンプの現状 16:40~17:05
  (日本原子力研究開発機構)神谷潤一郎
閉会の挨拶 (真空技術部会長)関口 信一 17:05~17:10
交流会  17:10~18:00

参加定員

現地50名、オンライン50名(希望者が多い場合は変更の可能性があります。)

費用

日本表面真空学会会員* 3,000円(予稿集代を含む)
 *個人正会員、法人正会員、維持会員、賛助会員
協賛学協会会員    3,000円(予稿集代を含む)
非会員        5,000円(予稿集代を含む)
学 生        無  料(予稿集1,000円)
※上記金額には消費税を含みます。

申込方法

申込みは終了しました。

申込締切 2022年11月28日(月)

支払方法

銀行振込
 申込受付完了後、請求書をメール添付でお送りします。
 振込口座:みずほ銀行 本郷支店(普通)2794464 シヤ)ニホンヒヨウメンシンクウガツカイ
※参加者の都合による取り消し及び不参加の場合、参加費の払い戻しはいたしません。
 ただし、参加者の変更は差し支えありません。

協賛

一般団法人日本真空工業会、一般団法人日本半導体製造装置協会

備考

問合せ先
 公益社団法人日本表面真空学会 事務局
 TEL: 03-3812-0266  E-mail: office@jvss.jp

本件担当
 日本表面真空学会 真空技術部会(荏原製作所)関口信一、(産業技術総合研究所)吉田肇



日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL:03-3812-0266 FAX:03-3812-2897 Email:

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