真空技術賞

表彰規定

受賞年度	受賞者
第43回平成30年度	狩野　諒^、*、菅　洋志、新堀俊一郎、高橋　賢、久保利隆*、安藤　淳、清水哲夫、宮脇　淳* （千葉工業大学、株式会社三友製作所、**産業技術総合研究所）吸引プラズマエッチング法を用いたSiO₂ダイアフラム構造作製技術の開発
第43回平成30年度	吉田　肇、新井健太、三浦寿夫、猪狩明大、片野　雅、五十嵐望、臼井　登、中島秀敏（産業技術総合研究所、*株式会社ピュアロンジャパン）標準コンダクタンスエレメントの開発と応用
第42回平成29年度	糟谷圭吾、大嶋　卓、片桐創一、川﨑　猛（株式会社日立製作所）極高真空冷陰極電界放出電子銃の開発
第42回平成29年度	末次祐介、柴田　恭、石橋拓弥、白井　満、照井真司、金澤健一、久松広美（高エネルギー加速器研究機構）大電流電子・陽電子加速器用超高真空システムの開発
第41回平成28年度	筒井慎吾、二木敬一（株式会社島津製作所） Direct Simulation Monte Carlo法のターボ分子ポンプへの適用
第40回平成27年度	大南祐介（株式会社日立ハイテクノロジーズ）大気圧走査電子顕微鏡の開発
第39回平成26年度	岡野夕紀子、田尻修一、岡本昭夫、小川倉一、美馬宏司*** （株式会社岡野製作所、大阪府立産業技術総合研究所、小川創造技術研究所、**大阪市立大学）マイクロコイル真空計およびマイクロハクマク真空計の開発
第38回平成25年度	吉野　潔、松本裕之、岩崎達行、木下　忍、野田和俊、岩森　暁* （岩崎電気株式会社、産業技術総合研究所、**東海大工学部）活性酸素を利用した医療用滅菌器およびそのモニター開発
第37回平成24年度	矢口紀恵、長久保康平、松本弘昭、柿林博司、上野武夫** （株式会社日立ハイテクノロジーズ、*山梨大学燃料電池ナノ材料研究センター）環境制御型透過電子顕微鏡の開発とその応用
第36回平成23年度	近藤真也、玉置　肇、小川倉一** （株式会社アサヒ電子研究所、*小川創造技術研究所）小型高性能力覚センサを用いたロールツーロールスパッタ装置用張力計測システム
第36回平成23年度	渡辺文夫（有限会社真空実験室）極高真空測定子（Bent Belt-Beam Gauge Head）の開発
第35回平成22年度	勝又信行、石田正文（山梨県工業技術センター） 3次元立体アルミニウムマスクを用いたシリコン基板の反応性イオンエッチング加工技術の開発
第35回平成22年度	新堀俊一郎、白山裕也、川上辰男、横須賀俊太郎、樫村健太、綿谷　透、清水哲夫、内藤泰久、徳本洋志* （株式会社三友製作所、*産業技術総合研究所）半導体デバイス解析用局所プラズマ加工装置の開発
第34回平成21年度	野間正男、小松永治、所　敏夫、小川圭二、中川平三郎** （神港精機株式会社、滋賀県東北部工業技術センター、**滋賀県立大学）硬質BN膜の切削工具への応用
第33回平成20年度	成沢忠、根引拓也（高知工科大学）マイクロ/ナノイオンビームの生成技術
第32回平成19年度	松浦　満、栗巣普揮、山本節夫、木本　剛、藤井寛朗、田中和彦、石澤克修、野村　健、村重信之、森本高志、部坂正樹、宗山悦博、竹田将利、國重敦弘、中川浜三、白水啓太、二井裕之** （山口大学工学部、三愛プラント工業株式会社、新光産業株式会社、**株式会社UBE科学分析センター）チタンの真空特性の研究と真空材料としての応用
第32回平成19年度	壁谷善三郎、金正倫計、齊藤芳男、荻原徳男（三菱重工業株式会社、原子力開発研究機構、**高エネルギー加速器研究機構）大口径・長尺アルミナセラミックダクトの製作
第31回平成18年度	渡辺文夫（有限会社真空実験室）極高真空用残留ガス分析計の開発
第30回平成17年度	津金洋之、清水広幸、三柴　隆、吉岡正人* （株式会社ミラプロ、*山梨大学工学部）ねじれを吸収する溶接偏芯ベローズの開発
第30回平成17年度	布下正宏、太田　淳、沖仲元毅** （奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科、*理化学研究所ナノサイエンス研究技術開発・支援チーム）アークプラズマガンを用いた新規材料GeC薄膜の分子線エピタキシー成長
第29回平成16年度	漁　剛志、田中健一郎、吉田啓晃、上野信雄、奥平幸司、森　正信、小林英一、間瀬一彦、長岡伸一*** （広島大学大学院理学研究科、千葉大学工学部、物質構造科学研究所、**愛媛大学理学部物質理学科化学系）電子-イオンコインシデンス分光装置の開発
第29回平成16年度	岩坪　聡（富山県工業技術センター）デュアルイオンビームスパッタ法を用いたAu超薄膜の作製とその紫外域透明電極への応用
第28回平成15年度	村上義夫、湯山純平（株式会社アルバック）特殊形状ベローズを用いたドライポンプの開発
第27回平成14年度	余谷純子、上村佐四郎、長廻武志、倉知宏行、山田　弘、江崎智隆、斎藤弥八、安藤義則、超　新洛、湯村守雄** （伊勢電子工業開発部、三重大学工学部、名城大学理工学部、**産業技術総合研究所新炭素系材料開発センター）カーボンナノチューブを電子源とした超高輝度光源管の開発
第27回平成14年度	岩瀬啓一郎、藤井敏博、中村　恵** （国立環境研究所、*アネルバ株式会社）リチウムイオンの付加反応を利用した質量分析法の開発
第26回平成13年度	麻蒔立男、八木原美奈、増井典明、三浦　勉（東京理科大学工学部電気工学科）磁石内蔵型冷陰極マグネトロン真空計の開発
第25回平成12年度	森田　歩、梶原　悟、谷水　徹、高橋正行、橋本隆範、四元善治** （株式会社日立製作所、株式会社三菱電機、株式会社久世ベーローズ工業、**株式会社東京電力）真空遮断器・開閉器用たる形ベローズの開発
第24回平成11年度	河原秀夫、御園生雅郎、浅野　修、加藤英美、Richard E. Collins** （日本板硝子株式会社、*シドニー大学物理学教室）真空ガラス「スペーシア」の開発
第23回平成10年度	秋道　斉、荒井孝夫、田中智成、竹内協子、辻󠄀　泰、高橋直樹、黒川裕次郎、荒川一郎** （株式会社アルバック・コーポレートセンター、日本真空技術株式会社、**学習院大学理学部） Bessel-Box形エネルギーフィルターを用いた極高真空用電離真空計－Axial-Symmetric Transmission Gauge(A.Tゲージ)－
第22回平成9年度	岩森　暁、宮下武博、福田　伸、福田信弘、須藤和冬（三井化学株式会社）ポリイミド銅積層体の接着機構の解析と接着力低下防止に関する研究
第21回平成8年度	井口征夫、鈴木一弘、大久保治、高橋夏木、平岩秀行** （川崎製鉄株式会社、*日本真空技術株式会社）大電流ホローカソード放電型イオンプレーティング技術の開発
第20回平成7年度	井口昌司、岡本正智、沢田　雅** （株式会社大阪真空機器製作所、*秋田大学） Analysis of TMP's Ultimate Pressure and Development of XHV-TMP and XHV-CMP
第19回平成6年度	平田正紘（電子技術総合研究所）スピニングローター真空計を中心とした真空標準に関する研究
第18回平成5年度	渡辺文夫（助川電気工業株式会社）超高真空領域の計測技術の開発
第17回平成4年度	稲葉成基、羽根一博* （岐阜工業高等専門学校、*名古屋大学）周波数計測による低真空領域の光学式圧力センシング
第16回平成3年度	齊藤芳男、穴見昌三、松田七美男、道園真一郎、金原　粲アルミナ高周波窓の破壊現象とその防止法
第15回平成2年度	石川雄一、尾高憲二、上田新次郎、蒲原秀明（日立製作所機械研究所）ステンレス鋼の放出ガス速度の低減に関する研究
第14回平成1年度	小原建治郎、中村和幸、村上義夫、長沼正光、喜多村和憲、内田孝穂、近藤光昇** （日本原子力研究所那珂研究所、東芝重電技術研究所、**東芝原子エネルギー開発室）ナイフエッジ型メタルシールフランジの改良に関する検討
第13回昭和63年度	楠　勲、村上純一、照井佳幸、小林　隆、百目鬼英雄** （東北大学科学計測研究所、光洋精工株式会社、**オリエンタルモータ株式会社中央研究所）超高真空用ステッピングモータの開発
第13回昭和63年度	弘津秀雄、前田正恭* （三菱重工業株式会社広島製作所、*日新製鋼株式会社）真空蒸着亜鉛めっきラインの開発
第12回昭和62年度	石沢芳夫、青木　進、大島忠平、大谷茂樹（無機材質研究所）電界放射型電子銃のための極高真空装置
第11回昭和61年度	該当なし
第10回昭和60年度	村上義夫、下村安夫、阿部哲也、小原建治郎（日本原子力研究所那珂研究所）ヘリウム・スニッファ法による洩れ探知技術の改良
第10回昭和60年度	沢田　雅、株式会社大阪真空機器製作所（秋田大学鉱山学部）新型複合分子ポンプ
第9回昭和59年度	株式会社岸川特殊バルブ、日本原子力研究所核融合研究センター全金属製ゲートバルブ
第8回昭和58年度	田村一二三（株式会社日立製作所）二次イオン質量分析の研究
第7回昭和57年度	石丸　肇、石川島播磨重工業株式会社（高エネルギー物理学研究所）アルミニウム合金を用いた超高真空装置の開発
第7回昭和57年度	横尾邦義、小野昭一（東北大学電気通信研究所）マルチハクターイオンポンプ
第6回昭和56年度	坂本雄一、石部行雄、大山　等、矢野勝喜、岡崎清比古、石井成行（理化学研究所、日本原子力研究所、名古屋大学プラズマ研究所）電子サイクロトロン共鳴プラズマによる放電洗浄技術の開発
第5回昭和55年度	株式会社富士テルモ超高真空用メタル中空Oリングの開発
第4回昭和54年度	石丸　肇（高エネルギー物理学研究所）同軸・多極・同軸多極混入真空端子の開発
第3回昭和53年度	日本原子力研究所核融合研究部、日本真空技術株式会社核融合装置第一壁材料のスパッタリング実験装置の開発
第2回昭和52年度	北条久男、中山勝矢（電子技術総合研究所）真空計測用遷移金属炭化物皮膜エミッタ
第2回昭和52年度	日電バリアン株式会社高速連続スパッタ装置
第1回昭和51年度	三宅　寛、道嶋正美（神戸商船大学）極低分圧測定への試み
第1回昭和51年度	株式会社大阪真空機器製作所軸流分子ポンプ

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日本表面真空学会　事務局
〒113-0033　東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL：03-3812-0266　FAX：03-3812-2897　Email：

受賞年度	受賞者
第43回平成30年度	狩野　諒^、*、菅　洋志、新堀俊一郎、高橋　賢、久保利隆*、安藤　淳、清水哲夫、宮脇　淳* （千葉工業大学、株式会社三友製作所、**産業技術総合研究所）吸引プラズマエッチング法を用いたSiO₂ダイアフラム構造作製技術の開発
第43回平成30年度	吉田　肇、新井健太、三浦寿夫、猪狩明大、片野　雅、五十嵐望、臼井　登、中島秀敏（産業技術総合研究所、*株式会社ピュアロンジャパン）標準コンダクタンスエレメントの開発と応用
第42回平成29年度	糟谷圭吾、大嶋　卓、片桐創一、川﨑　猛（株式会社日立製作所）極高真空冷陰極電界放出電子銃の開発
第42回平成29年度	末次祐介、柴田　恭、石橋拓弥、白井　満、照井真司、金澤健一、久松広美（高エネルギー加速器研究機構）大電流電子・陽電子加速器用超高真空システムの開発
第41回平成28年度	筒井慎吾、二木敬一（株式会社島津製作所） Direct Simulation Monte Carlo法のターボ分子ポンプへの適用
第40回平成27年度	大南祐介（株式会社日立ハイテクノロジーズ）大気圧走査電子顕微鏡の開発
第39回平成26年度	岡野夕紀子、田尻修一、岡本昭夫、小川倉一、美馬宏司*** （株式会社岡野製作所、大阪府立産業技術総合研究所、小川創造技術研究所、**大阪市立大学）マイクロコイル真空計およびマイクロハクマク真空計の開発
第38回平成25年度	吉野　潔、松本裕之、岩崎達行、木下　忍、野田和俊、岩森　暁* （岩崎電気株式会社、産業技術総合研究所、**東海大工学部）活性酸素を利用した医療用滅菌器およびそのモニター開発
第37回平成24年度	矢口紀恵、長久保康平、松本弘昭、柿林博司、上野武夫** （株式会社日立ハイテクノロジーズ、*山梨大学燃料電池ナノ材料研究センター）環境制御型透過電子顕微鏡の開発とその応用
第36回平成23年度	近藤真也、玉置　肇、小川倉一** （株式会社アサヒ電子研究所、*小川創造技術研究所）小型高性能力覚センサを用いたロールツーロールスパッタ装置用張力計測システム
第36回平成23年度	渡辺文夫（有限会社真空実験室）極高真空測定子（Bent Belt-Beam Gauge Head）の開発
第35回平成22年度	勝又信行、石田正文（山梨県工業技術センター） 3次元立体アルミニウムマスクを用いたシリコン基板の反応性イオンエッチング加工技術の開発
第35回平成22年度	新堀俊一郎、白山裕也、川上辰男、横須賀俊太郎、樫村健太、綿谷　透、清水哲夫、内藤泰久、徳本洋志* （株式会社三友製作所、*産業技術総合研究所）半導体デバイス解析用局所プラズマ加工装置の開発
第34回平成21年度	野間正男、小松永治、所　敏夫、小川圭二、中川平三郎** （神港精機株式会社、滋賀県東北部工業技術センター、**滋賀県立大学）硬質BN膜の切削工具への応用
第33回平成20年度	成沢忠、根引拓也（高知工科大学）マイクロ/ナノイオンビームの生成技術
第32回平成19年度	松浦　満、栗巣普揮、山本節夫、木本　剛、藤井寛朗、田中和彦、石澤克修、野村　健、村重信之、森本高志、部坂正樹、宗山悦博、竹田将利、國重敦弘、中川浜三、白水啓太、二井裕之** （山口大学工学部、三愛プラント工業株式会社、新光産業株式会社、**株式会社UBE科学分析センター）チタンの真空特性の研究と真空材料としての応用
第32回平成19年度	壁谷善三郎、金正倫計、齊藤芳男、荻原徳男（三菱重工業株式会社、原子力開発研究機構、**高エネルギー加速器研究機構）大口径・長尺アルミナセラミックダクトの製作
第31回平成18年度	渡辺文夫（有限会社真空実験室）極高真空用残留ガス分析計の開発
第30回平成17年度	津金洋之、清水広幸、三柴　隆、吉岡正人* （株式会社ミラプロ、*山梨大学工学部）ねじれを吸収する溶接偏芯ベローズの開発
第30回平成17年度	布下正宏、太田　淳、沖仲元毅** （奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科、*理化学研究所ナノサイエンス研究技術開発・支援チーム）アークプラズマガンを用いた新規材料GeC薄膜の分子線エピタキシー成長
第29回平成16年度	漁　剛志、田中健一郎、吉田啓晃、上野信雄、奥平幸司、森　正信、小林英一、間瀬一彦、長岡伸一*** （広島大学大学院理学研究科、千葉大学工学部、物質構造科学研究所、**愛媛大学理学部物質理学科化学系）電子-イオンコインシデンス分光装置の開発
第29回平成16年度	岩坪　聡（富山県工業技術センター）デュアルイオンビームスパッタ法を用いたAu超薄膜の作製とその紫外域透明電極への応用
第28回平成15年度	村上義夫、湯山純平（株式会社アルバック）特殊形状ベローズを用いたドライポンプの開発
第27回平成14年度	余谷純子、上村佐四郎、長廻武志、倉知宏行、山田　弘、江崎智隆、斎藤弥八、安藤義則、超　新洛、湯村守雄** （伊勢電子工業開発部、三重大学工学部、名城大学理工学部、**産業技術総合研究所新炭素系材料開発センター）カーボンナノチューブを電子源とした超高輝度光源管の開発
第27回平成14年度	岩瀬啓一郎、藤井敏博、中村　恵** （国立環境研究所、*アネルバ株式会社）リチウムイオンの付加反応を利用した質量分析法の開発
第26回平成13年度	麻蒔立男、八木原美奈、増井典明、三浦　勉（東京理科大学工学部電気工学科）磁石内蔵型冷陰極マグネトロン真空計の開発
第25回平成12年度	森田　歩、梶原　悟、谷水　徹、高橋正行、橋本隆範、四元善治** （株式会社日立製作所、株式会社三菱電機、株式会社久世ベーローズ工業、**株式会社東京電力）真空遮断器・開閉器用たる形ベローズの開発
第24回平成11年度	河原秀夫、御園生雅郎、浅野　修、加藤英美、Richard E. Collins** （日本板硝子株式会社、*シドニー大学物理学教室）真空ガラス「スペーシア」の開発
第23回平成10年度	秋道　斉、荒井孝夫、田中智成、竹内協子、辻󠄀　泰、高橋直樹、黒川裕次郎、荒川一郎** （株式会社アルバック・コーポレートセンター、日本真空技術株式会社、**学習院大学理学部） Bessel-Box形エネルギーフィルターを用いた極高真空用電離真空計－Axial-Symmetric Transmission Gauge(A.Tゲージ)－
第22回平成9年度	岩森　暁、宮下武博、福田　伸、福田信弘、須藤和冬（三井化学株式会社）ポリイミド銅積層体の接着機構の解析と接着力低下防止に関する研究
第21回平成8年度	井口征夫、鈴木一弘、大久保治、高橋夏木、平岩秀行** （川崎製鉄株式会社、*日本真空技術株式会社）大電流ホローカソード放電型イオンプレーティング技術の開発
第20回平成7年度	井口昌司、岡本正智、沢田　雅** （株式会社大阪真空機器製作所、*秋田大学） Analysis of TMP's Ultimate Pressure and Development of XHV-TMP and XHV-CMP
第19回平成6年度	平田正紘（電子技術総合研究所）スピニングローター真空計を中心とした真空標準に関する研究
第18回平成5年度	渡辺文夫（助川電気工業株式会社）超高真空領域の計測技術の開発
第17回平成4年度	稲葉成基、羽根一博* （岐阜工業高等専門学校、*名古屋大学）周波数計測による低真空領域の光学式圧力センシング
第16回平成3年度	齊藤芳男、穴見昌三、松田七美男、道園真一郎、金原　粲アルミナ高周波窓の破壊現象とその防止法
第15回平成2年度	石川雄一、尾高憲二、上田新次郎、蒲原秀明（日立製作所機械研究所）ステンレス鋼の放出ガス速度の低減に関する研究
第14回平成1年度	小原建治郎、中村和幸、村上義夫、長沼正光、喜多村和憲、内田孝穂、近藤光昇** （日本原子力研究所那珂研究所、東芝重電技術研究所、**東芝原子エネルギー開発室）ナイフエッジ型メタルシールフランジの改良に関する検討
第13回昭和63年度	楠　勲、村上純一、照井佳幸、小林　隆、百目鬼英雄** （東北大学科学計測研究所、光洋精工株式会社、**オリエンタルモータ株式会社中央研究所）超高真空用ステッピングモータの開発
第13回昭和63年度	弘津秀雄、前田正恭* （三菱重工業株式会社広島製作所、*日新製鋼株式会社）真空蒸着亜鉛めっきラインの開発
第12回昭和62年度	石沢芳夫、青木　進、大島忠平、大谷茂樹（無機材質研究所）電界放射型電子銃のための極高真空装置
第11回昭和61年度	該当なし
第10回昭和60年度	村上義夫、下村安夫、阿部哲也、小原建治郎（日本原子力研究所那珂研究所）ヘリウム・スニッファ法による洩れ探知技術の改良
第10回昭和60年度	沢田　雅、株式会社大阪真空機器製作所（秋田大学鉱山学部）新型複合分子ポンプ
第9回昭和59年度	株式会社岸川特殊バルブ、日本原子力研究所核融合研究センター全金属製ゲートバルブ
第8回昭和58年度	田村一二三（株式会社日立製作所）二次イオン質量分析の研究
第7回昭和57年度	石丸　肇、石川島播磨重工業株式会社（高エネルギー物理学研究所）アルミニウム合金を用いた超高真空装置の開発
第7回昭和57年度	横尾邦義、小野昭一（東北大学電気通信研究所）マルチハクターイオンポンプ
第6回昭和56年度	坂本雄一、石部行雄、大山　等、矢野勝喜、岡崎清比古、石井成行（理化学研究所、日本原子力研究所、名古屋大学プラズマ研究所）電子サイクロトロン共鳴プラズマによる放電洗浄技術の開発
第5回昭和55年度	株式会社富士テルモ超高真空用メタル中空Oリングの開発
第4回昭和54年度	石丸　肇（高エネルギー物理学研究所）同軸・多極・同軸多極混入真空端子の開発
第3回昭和53年度	日本原子力研究所核融合研究部、日本真空技術株式会社核融合装置第一壁材料のスパッタリング実験装置の開発
第2回昭和52年度	北条久男、中山勝矢（電子技術総合研究所）真空計測用遷移金属炭化物皮膜エミッタ
第2回昭和52年度	日電バリアン株式会社高速連続スパッタ装置
第1回昭和51年度	三宅　寛、道嶋正美（神戸商船大学）極低分圧測定への試み
第1回昭和51年度	株式会社大阪真空機器製作所軸流分子ポンプ

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