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[ml_230] 日本表面真空学会 SP部会令和元年度勉強会(11/14)のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；後藤康仁（京都大学、日本表面真空学会SP部会長）

　スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
　　　　　　　　令和元年度勉強会
「我々は直流マグネトロン放電をほんとうに理解しているのか？」

【日時】2019年11月14日（木） 14:00～17:00（受付13:30～）
14:00～16:00　ラウンドテーブル勉強会
　　　　 16:00～17:00　懇親会・自由討議

【場所】金沢工業大学東京事務所会議室
　　　（東京都港区虎ノ門3-17-1 TOKYU REIT虎ノ門ビル6階）
　　　　 http://www.kanazawa-it.ac.jp/about_kit/access.html

【話題提供・コーディネーター】
　　金沢工業大学高信頼理工学研究センター教授草野英二

【勉強会概要】
　・高周波放電と直流マグネトロン放電の違いとは？
　・陰極電位はどのように決まるのか？
　・プラズマ電位はどのように決まるのか?接地電位より低いか、高いか？
　・実用において、より安定に放電を維持して行くポイントは？
　詳細はホームページをご覧ください。 https://www.jvss.jp/

【参加費】（消費税込み、資料代含む）
　SP部会会員　無料
　日本表面真空学会個人正会員　3,000円
　日本表面真空学会法人正・維持・賛助会員所属者　3,000円
　一般　5,000円
　学生　1,000円
　＊当日受付にてお支払いください。

【定員】24名

【申込方法】ホームページよりお申込みください。 https://www.jvss.jp/

【申込締切】2019年11月11日（月）

【問合せ先】公益社団法人日本表面真空学会事務局
E-mail：office@jvss.jp
TEL：03-3812-0266　　FAX：03-3812-2897