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[ml_189] VACUUM2019真空展「薄膜の基本技術講座」のご案内
対象：会員および一般
速報発信者；中辻 寛（東京工業大学、教育委員会委員長）
VACUUM2019真空展併催
「薄膜の基本技術講座」のご案内
2019年9月4日(水)～6日(金)にパシフィコ横浜にて
「VACUUM2019真空展」を開催いたします。
https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/
日本表面真空学会では、薄膜の基本技術講座を下記の内容にて
全6講座開催いたします。ぜひご参加ください。
各講座の詳細につきましては、Webページをご覧ください。
講 座：全6講座
●9月4日(水) 12:30～14:30 講師；中野 武雄
「スパッタ薄膜の組成制御、構造制御」
●9月4日(水) 15:00～17:00 講師；中村 友二
「半導体・LSIの薄膜プロセスと評価」
●9月5日(木) 12:30～14:30 講師；間瀬 一彦
「ディスプレイ、半導体産業、成膜、表面分析に役立つ高真空技術」
●9月5日(木) 15:00～17:00 講師；上坂 裕之
「プラズマプロセスによるダイヤモンドライクカーボン薄膜堆積の基礎とその応用」
●9月6日(金) 12:30～14:30 講師；松本 功
「LED・ワイドギャップ半導体素子製造プロセスと結晶成長の課題」
●9月6日(金) 15:00～17:00 講師；大工原 茂樹
「真空蒸着：成膜の基礎および光学薄膜」
会 場：パシフィコ横浜 展示ホール2階 会議室E204
定 員：各講座とも54名
受 講 料：各講座とも 一般5,000円、学生1,000円（テキスト代・消費税込）
申込方法：ホームページよりお申込みください。 https://www.jvss.jp/
問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会 事務局
TEL 03-3812-0266 E-mail: office@jvss.jp
日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL：03-3812-0266 FAX：03-3812-2897 Email：