真空技術部会2022年12月研究例会

主催

日本表面真空学会

開催日

2022年12月7日（水）13:00～18:00（現地/接続受付12:30～）

締切日

2022年11月28日

会場

機械振興会館地下3階研修-2会議室　およびオンライン（Zoom）
（〒105-0011　東京都港区芝公園3-5-8）

※新型コロナウイルスの感染状況によってはオンラインのみの開催となる場合があります。

プログラム

主題「ドライ真空ポンプの最新動向」

　ドライ真空ポンプは、クリーンな排気が実現できる粗引きポンプとして1980年代後半から半導体製造設備を中心に使用台数を増やしてきました。現在では、半導体用途向けで、年間10万台以上の需要があると言われております。また、分析・計測分野や食品・医薬分野など幅広い分野において、排気システムのクリーン化、メンテナンス頻度低減及び省エネルギー化の観点から、ドライ真空ポンプの適用範囲が広がっており、気軽に利用できる真空ポンプの１つとなっています。
　そこで、今回はドライ真空ポンプに関する基本原理・構造・歴史などについて振り返った上で、ドライ真空ポンプを製造しているメーカ各社から、製品に適用されております最新の特長・技術及びその効果をご発表頂きます。また、ドライ真空ポンプをユーザーの立場でご使用なさっている方々から、活用事例、課題及び要望などをご講演頂きます。
　ドライ真空ポンプは、会員の皆様にとりまして身近な真空機器の一つと思われます。本研究例会が、ドライ真空ポンプを進化・発展させてきた技術者の方々と、様々な用途でご活用なさっている方々に有益な情報を提供できる場となること、また自由活発な議論を行う場になることを願っております。皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

講演プログラム
開会の挨拶　（真空技術部会副部会長）山本　将博　13:00～13:05
１．ドライ真空ポンプ概論
　　　（株式会社大阪真空機器製作所）濱口　宗久　13:05～13:45
２．ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
　　　　　（アルバック機工株式会社）山中　秋広　13:45～14:05
３．ルーツ式ドライ真空ポンプ製品開発への取り組み
　　　　　　　（株式会社アンレット）竹田　昌史　14:05～14:25
４．完全オイルフリースクロールポンプ“nXDS”
　　　　　　　（エドワーズ株式会社）水野ゆかり　14:25～14:45
５．中負荷向けドライ真空ポンプEV-X型
　　　　　　　（株式会社荏原製作所）荒井　秀夫　14:45～15:05
休憩　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　15:05～15:15
６．新型空冷ドライポンプNeoDry-Gシリーズ
　　　　　　　　（樫山工業株式会社）松本　知也　15:15～15:35
７．一般産業向けドライ真空ポンプSST型
　　　　　　　　（神港精機株式会社）濃野　勝人　15:35～15:55
８．Pfeiffer社製ドライ真空ポンプの特徴と主要用途
　　　　　　　　　　（伯東株式会社）田中泰士郎　15:55～16:15
９．ターボ分子ポンプに対するドライ真空ポンプの役割
　　　　　　　（株式会社島津製作所）太田　知男　16:15～16:40
10．加速器におけるドライポンプの現状
　　　　　（日本原子力研究開発機構）神谷潤一郎　16:40～17:05
閉会の挨拶　　　　（真空技術部会長）関口　信一　17:05～17:10
交流会　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　17:10～18:00