公益社団法人 日本表面真空学会



スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)第169回定例研究会・第18回技術交流会

主催

日本表面真空学会

開催日

2022年1月20日(木)13:00 ~ 17:20

締切日

2022年01月12日

会場

オンライン(Zoom)

プログラム

 SP部会では、会員相互の技術情報交換の場を提供するために、年一回、定期研究会と技術交流会の同時開催を企画しています。毎回ご好評をいただいており、同時開催は今年で18回目となります。昨年度に引き続き、今年度もオンライン開催となります。
 今回の定例研究会では法人会員企業様より2件の講演を実施頂きます。技術交流会ではショートプレゼンテーションを実施した後、質問、懇談の場を設けます。この技術交流会を機会に是非会員相互で有益な技術情報を交換していただき、会員各社のさらなる技術的発展につながればと考えております。部会員以外の方の参加も歓迎いたします。皆様の奮ってのご参加をお待ちしております。
 なお、ショートプレゼンテーション発表者の当日(定例研究会と技術交流会)の参加費は無料です。

開催方法
 オンライン(Zoom)
 ※当日のZoom会議にご参加をいただくには、Zoomでの事前参加登録が必要となります。
  参加登録のためのリンク情報等の詳細は、お申込みいただいた方に別途ご案内します。

プログラム
-定例研究会- ※講演時間40分(質疑応答5分間含む)
13:00~13:40
 「機能性窒化物薄膜の成膜および評価技術とその応用」
  藤原 和崇(三菱マテリアル株式会社)

13:40~14:20
 「分光特性調整支援システムOASYSの紹介」
  大胡 嘉規(株式会社シンクロン)諸事情により中止になりました。

-技術交流会-
14:00~15:10 ショートプレゼンテーション
 ①「小型プロセス容器用 BeCu チャンバーの開発」
   黒岩 雅英(東京電子株式会社)
 ②「計算機シミュレーションを用いたプロトン後方散乱スペクトルの解析」
   後藤 康仁(京都大学)
 ③「ナノ金属触媒を用いた重水素エネルギー発生の課題」
   武藤 正雄(株式会社北海光電子)
 ④「スパッタ成膜中の磁力制御による酸化チタン薄膜の作製」
   岩田 壮司(名古屋工業大学)
 ⑤「ヨウ化銅薄膜の太陽電池応用に向けた検討」
   金子 哲也(東海大学)
15:10~16:10 質問・情報交換会

禁止事項
 本会参加にあたり、下記の行為を禁止します。ご協力お願いします。
(1)本会への参加申込者以外が本会を視聴すること
(2)本会のミーティングID、パスワード、URLを第三者に知らせること
(3)発表画面、音声等をパソコンやその他の記録メディアに保存すること
(4)発表画面、音声、資料等をインターネット上のネットワーク配信サイト等へ配布すること
(5)他の参加者又は発表者に迷惑・不利益を与える行為
(6)その他著作権法等の法令に反する行為

参加定員

70名(先着順にて定員に達し次第締め切ります。)

費用

SP部会員:無料
日本表面真空学会個人正会員:23,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方:18,000円
教育機関、公的機関に属する方:12,000円
学生: 5,000円
一般:28,000円
ショートプレゼンテーション発表者:無料
(資料代・消費税を含む)

申込方法

申込みは終了しました。

支払方法

銀行振込(申込受付完了後、請求書をメール添付にてお送りします。)

「参加者の都合による取り消し及び不参加」の場合、参加費の払い戻しはいたしません。ただし、参加者の変更は差し支えありません。

備考

問合せ先
 公益社団法人日本表面真空学会 事務局
 TEL: 03-3812-0266  E-mail: office@jvss.jp

本件担当
 公益社団法人日本表面真空学会 SP部会 吉田武史(昭和真空)



日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL:03-3812-0266 FAX:03-3812-2897 Email:

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