スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第169回定例研究会・第18回技術交流会

主催

日本表面真空学会

開催日

2022年1月20日（木）13:00～17:20

締切日

2022年01月12日

会場

オンライン（Zoom）

プログラム

　SP部会では、会員相互の技術情報交換の場を提供するために、年一回、定期研究会と技術交流会の同時開催を企画しています。毎回ご好評をいただいており、同時開催は今年で18回目となります。昨年度に引き続き、今年度もオンライン開催となります。
　今回の定例研究会では法人会員企業様より2件の講演を実施頂きます。技術交流会ではショートプレゼンテーションを実施した後、質問、懇談の場を設けます。この技術交流会を機会に是非会員相互で有益な技術情報を交換していただき、会員各社のさらなる技術的発展につながればと考えております。部会員以外の方の参加も歓迎いたします。皆様の奮ってのご参加をお待ちしております。
　なお、ショートプレゼンテーション発表者の当日（定例研究会と技術交流会）の参加費は無料です。

開催方法
　オンライン（Zoom）
　※当日のZoom会議にご参加をいただくには、Zoomでの事前参加登録が必要となります。
　　参加登録のためのリンク情報等の詳細は、お申込みいただいた方に別途ご案内します。

プログラム
－定例研究会－　※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
13:00～13:40
　「機能性窒化物薄膜の成膜および評価技術とその応用」
　　藤原和崇（三菱マテリアル株式会社）

13:40～14:20
　「分光特性調整支援システムOASYSの紹介」
　　大胡嘉規（株式会社シンクロン）諸事情により中止になりました。

－技術交流会－
14:00～15:10　ショートプレゼンテーション
　①「小型プロセス容器用 BeCu チャンバーの開発」
　　　黒岩雅英（東京電子株式会社）
　②「計算機シミュレーションを用いたプロトン後方散乱スペクトルの解析」
　　　後藤康仁（京都大学）
　③「ナノ金属触媒を用いた重水素エネルギー発生の課題」
　　　武藤正雄（株式会社北海光電子）
　④「スパッタ成膜中の磁力制御による酸化チタン薄膜の作製」
　　　岩田壮司（名古屋工業大学）
　⑤「ヨウ化銅薄膜の太陽電池応用に向けた検討」
　　　金子哲也（東海大学）
15:10～16:10　質問・情報交換会

禁止事項
　本会参加にあたり、下記の行為を禁止します。ご協力お願いします。
（1）本会への参加申込者以外が本会を視聴すること
（2）本会のミーティングID、パスワード、URLを第三者に知らせること
（3）発表画面、音声等をパソコンやその他の記録メディアに保存すること
（4）発表画面、音声、資料等をインターネット上のネットワーク配信サイト等へ配布すること
（5）他の参加者又は発表者に迷惑・不利益を与える行為
（6）その他著作権法等の法令に反する行為