日本表面真空学会

2021年3月26日（金）13:00～16:30（接続受付12:30～）

オンライン（Zoom）

　全固体リチウムイオン電池などの次世代エネルギーデバイスを実現するキープロセスとして、エアロゾルデポジション法（AD法）が注目されています。AD法は減圧下で微粒子の表面を活性化させることで高品質な成膜を実現していると考えられており、スパッタ成膜やプラズマプロセスを理解する上でも参考になることが多いと考えられます。本研究会では、AD法の基礎、およびAD法により実現するエネルギーデバイスに関する最新の技術動向を、大学及び国立研究機関から最前線でご活躍中の講師をお招きして講演して頂きます。多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

テーマ
　エネルギー問題に取り組む成膜技術～低温・高速・高品質成膜を実現するAD法～

開催方法
　オンライン（Zoom）
　※講演資料集冊子を会議に先だって郵送します。
　　当日のアクセスの詳細は、お申込みいただいた方に別途ご案内します。

プログラム
13:00～13:05　開会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会 部会長　後藤康仁（京都大学）

2020年度SP部会賞授賞式
13:05～13:15
　審査経緯の報告　日本表面真空学会SP部会 副部会長　中野武雄（成蹊大学）
　受 賞 者：三菱マテリアル株式会社 三田工場 技術開発室
　　　　　　梅本啓太、金子大亮、岡野晋、杉内幸也、大友健志、塩野一郎
　受賞業績：フラットパネルディスプレイのTFT配線に適用可能な耐久性の高い黒色化スパッタ膜およびスパッタリングターゲットの開発

13:15～13:45　SP部会賞受賞記念講演

13:45～14:05　休　憩

講　演　※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
14:05～14:45
　「AD法の基礎とエネルギー関連デバイス応用での展望」
　明渡　純（産業技術総合研究所）

14:45～15:25
　「AD法を活用した酸化物全固体リチウム電池の研究開発」
　入山恭寿（名古屋大学）

15:25～15:45　休　憩

15:45～16:25
　「二次電池用セラミックス材料の薄膜・厚膜化技術へのAD法の適用検討」
　稲田亮史（豊橋技術科学大学）

16:25～16:30　閉会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会　清水徹英（東京都立大学）

禁止事項
　本研究会参加にあたり、下記の行為を禁止します。ご協力お願いします。
（1）本研究会への参加申込者以外が本研究会を視聴すること
（2）本研究会のミーティングID、パスワード、URLを第三者に知らせること
（3）発表画面、音声等をパソコンやその他の記録メディアに保存すること
（4）発表画面、音声、資料等をインターネット上のネットワーク配信サイト等へ配布すること
（5）他の参加者又は発表者に迷惑・不利益を与える行為
（6）その他著作権法等の法令に反する行為

70名（先着順にて定員に達し次第締め切ります。）

SP部会員：無料
日本表面真空学会個人正会員：23,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
教育機関、公的機関に属する方：12,000円
学生： 5,000円
一般：28,000円
（資料代・消費税を含む）

申込みは終了しました。

申込締切： 2021年3月18日（木）

銀行振込（申込受付完了後、請求書をメール添付にてお送りします。）

「参加者の都合による取り消し及び不参加」の場合、参加費の払い戻しはいたしません。ただし、参加者の変更は差し支えありません。

問合せ先
　公益社団法人日本表面真空学会 事務局
　E-mail: office@jvss.jp

本件担当
　公益社団法人日本表面真空学会 SP部会　後藤哲也（東北大学）、清水徹英（東京都立大学）