公益社団法人 日本表面真空学会



スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)第165回定例研究会・第17回技術交流会

主催

日本表面真空学会

開催日

2021年1月25日(月)13:00 ~ 18:00

締切日

2021年01月14日

会場

オンライン(Zoom)

プログラム

 SP部会では、会員相互の技術情報交換の場を提供するために、定期研究会と技術交流会の同時開催を企画しています。毎回ご好評をいただいており、同時開催は今年で17回目となります。定例研究会は新型コロナウイルス感染拡大防止の観点から、前回の定例研究会同様、オンラインで実施します。技術交流会もオンライン開催とし、ショートプレゼンテーションの後に質問・情報交換会を設け、参加者同士の情報交換をする場を設けたいと考えています。この技術交流会を機会に是非会員相互で有益な技術情報を交換していただき、会員各社のさらなる技術的発展につながればと考えております。技術交流会は、部会員以外の方の参加も歓迎いたします。皆様の奮ってのご参加をお待ちしております。なお、ショートプレゼンテーション発表者の当日(定例研究会と技術交流会)の参加費は無料です。

開催方法
 オンライン(Zoom)
 ※講演資料集冊子を会議に先だって郵送します。
  当日のアクセスの詳細は、お申込みいただいた方に別途ご案内します。

プログラム
-定例研究会- ※講演時間40分(質疑応答5分間含む)
 13:00~13:40 清水 徹英(東京都立大学 システムデザイン学部)
 「HiPIMSプラズマの過渡応答特性とその薄膜成長への応用」

 13:40~14:20 稗田 純子(名古屋大学 工学部 マテリアル工学科/名古屋大学大学院 工学研究科 化学システム工学専攻)
 「生体内等の特殊環境下で使用する機能性材料の開発をめざして」

 14:20~14:40 休憩

-技術交流会-
 14:40~16:20 ショートプレゼンテーション(6件)

 「低温化・低ガス放出で先進的スパッタに貢献する新しい真空構造材BeCu」
  ○黒岩雅英, 岸川信介, 辺⾒修⼀(東京電子株式会社)

 「電子トラップ密度エネルギー分布解析による金属酸化物の同定と評価」
  大谷文章(北海道大学触媒科学研究所)

 「磁気ミラー型マグネトロンスパッタリングカソードの紹介」
  ○本村大成, 田原竜夫(産業技術総合研究所)

 「磁気ミラー型マグネトロンカソードを用いて低ガス圧力環境下で非加熱成膜した窒化アルミニウム薄膜」
  ○川戸勇人1), 本村大成2), 田原竜夫2), 上原雅人2), 奥山哲也1)1)久留米工業高等専門学校, 2)産業技術総合研究所)

 「容量結合型プラズマCVD法によるマシュマロ状SiO:CHの形成」
  鈴木耀純1), 菅野匡宏2), ○井上泰志1),2), 高井治3)1)千葉工業大学工学部,2)千葉工業大学大学院工学研究科,3)関東学院大学材料・表面工学研究所)

 「イオンビーム分析を用いた薄膜解析技術」
  後藤康仁(京都大学大学院工学研究科電子工学専攻)

 16:20~18:00 質問・情報交換会

禁止事項
 本会参加にあたり、下記の行為を禁止します。ご協力お願いします。
(1)本会への参加申込者以外が本会を視聴すること
(2)本会のミーティングID、パスワード、URLを第三者に知らせること
(3)発表画面、音声等をパソコンやその他の記録メディアに保存すること
(4)発表画面、音声、資料等をインターネット上のネットワーク配信サイト等へ配布すること
(5)他の参加者又は発表者に迷惑・不利益を与える行為
(6)その他著作権法等の法令に反する行為

参加定員

70名(先着順にて定員に達し次第締め切ります。)

費用

SP部会員:無料
日本表面真空学会個人正会員:23,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方:18,000円
教育機関、公的機関に属する方:12,000円
学生: 5,000円
一般:28,000円
(資料代・消費税を含む)
※ショートプレゼンテーション発表者は無料です。

申込方法

申込みは終了しました。

支払方法

銀行振込(申込受付完了後、請求書をメール添付にてお送りします。)

「参加者の都合による取り消し及び不参加」の場合、参加費の払い戻しはいたしません。ただし、参加者の変更は差し支えありません。

備考

問合せ先
 公益社団法人日本表面真空学会 事務局
 E-mail: office@jvss.jp

本件担当
 公益社団法人日本表面真空学会 SP部会 大胡嘉規(シンクロン)



日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL:03-3812-0266 FAX:03-3812-2897 Email:

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