VACUUM2024真空展「規格標準報告会」

主催

日本表面真空学会、日本真空工業会

開催日

2024年9月20日（金）10:30～12:10（受付10:00～）

締切日

2024年09月19日

会場

東京ビッグサイト東5ホール内セミナー会場B
（東京都江東区有明3-11-1）　交通アクセス

プログラム

ガス放出と真空技術の国際規格動向
　日本表面真空学会（JVSS）と日本真空工業会（JVIA）は、「規格標準合同検討委員会」を組織して真空技術に関するJISやISO規格の提案・検討を協力して行なっております。
気体放出は真空装置にとって到達圧力を制限し、目標圧力までの到達時間を長くする主な要因であることはよく知られています。より高い真空度を得るためには、真空容器や内部の部品は、より気体放出の少ない材料を選択することが重要になります。そこで今年は特別講演として、株式会社アルバックの稲吉さかえ様をお招きして、各種材料や表面処理の違いによる気体放出特性についてわかりやすくご講演いただきます。また、規格標準合同検討委員会の取り組みとして、ターボ分子ポンプの性能試験方法のISO規格の見直しや、真空フランジのJIS改正など最近の真空技術に関するISO・JIS制改定状況について報告いたします。

1.「各種材料及び表面処理の気体放出特性」
　稲吉さかえ（株式会社アルバック先進技術研究所）

2.「ターボ分子ポンプの性能測定規格　～排気速度、圧縮比、到達圧力　これらの関係～」
　芦田　修（株式会社島津製作所）

3.「真空フランジの規格」
　吉田　肇（国立研究開発法人産業技術総合研究所）

4.「規格標準合同検討委員会活動報告～最近のISO・JISの制改定等について～」
　鈴木　明（株式会社フジ・テクノロジー）