公益社団法人 日本表面真空学会



第2回オンライン真空応用技術講座

主催

日本表面真空学会

開催日

2022年9月5日(月)12:00 ~ 10月31日(月)12:00(オンデマンド講義)

締切日

2022年07月27日

会場

オンライン

プログラム

 2022年度の真空夏季大学真空応用技術講座は、新型コロナウィルス(COVID-19)感染拡大防止のため、一昨年度、昨年度に引き続き中止いたします。そこで真空夏季大学真空応用技術講座の代わりとして、オンライン真空応用技術講座を2022年9月~10月にオンデマンド形式で開催いたします。本真空応用技術講座では、それぞれの分野の基本の理解を深めるとともに、実践のための実力を養うことを目的としております。

開催方法
 オンライン(オンデマンド講義;AirCourse)

オンデマンド講義受講可能期間
 2022年9月5日(月)12:00 ~ 10月31日(月)12:00

講義内容
(A)「プロセスプラズマの基礎」 江利口 浩二 講師(京都大学 教授)
 エッチングやデポジションなどプラズマを利用したプロセスには、例えば低温・高密度・高均一・大面積などの特性が要求されている。それら要求に応えその特徴を最大限に有効活用するには、プラズマの基本的性質をはじめ、その生成法、制御法および診断法などの基礎的事項を理解していることが望まれる。本講座では、①プラズマの基本的性質、デバイ長やプラズマ周波数などの基本的な物理量、ならびに電磁界中の荷電粒子の運動、イオンシースの構造、ラジカルの特徴・役割、②プロセスに用いられる各種プラズマ(容量結合、誘導結合、電子サイクロトロン、磁場印加型、表面波など)の生成原理とそれらの特徴(長所と課題)、③プロセス設計で必要となる電子温度に代表されるプロセスパラメータの制御法、また④イオン、電子などプラズマを構成する粒子の密度などの計測法について解説する。

(B)「CVDプロセスの基礎」 関口 敦 講師(工学院大学 特任教授)
 本講座では化学気相成長(CVD)法の基礎に関して解説する。欠陥の少ない結晶成長や良好な被覆特性など、CVD法を使用すると他の成膜方法では実現できない特長を得ることができる。実際にこの特長を得るためには、化学反応過程を解析し所定のプロセス条件で実施することが必要となる。本講座ではCVDの定義から、この反応解析の手法と各プロセスの詳細に関して解説する。

ラーニングシステム
 オンデマンド講座、アンケートは、セキュリティを高めるとともに受講者の負担を軽減するため、ラーニングシステム AirCourse上で運営する予定です。AirCourseでは、Amazon Drive、YouTube、またはGoogle Driveを使用して動画の配信を行っておりますので、Amazon Drive、YouTube、またはGoogle Driveを使用できる環境をご準備下さい。どれか1つにアクセス可能であれば受講することが可能です。

アンケート
 受講終了後、ラーニングシステム上でアンケートにご回答下さい。アンケートの回答内容は今後のオンライン真空講座等の改善に役立てますのでご協力をお願いします。アンケートの提出をもって受講完了といたします。

メールによる質問受け付け
 受講者はメールで講師に質問することができます。質問は原則として、期間中(2022年9月5日(月) ~ 10月31日(月))に受講者1名あたり1回までといたします。質問に対しては、原則として1週間以内に回答いたします。

禁止事項
 オンライン真空応用技術講座を受講するにあたっては下記の行為を禁止します。ご協力お願いします。
(1)講義動画等を受講者以外が視聴すること
(2)ID、パスワード、視聴用URLを第三者に知らせること
(3)講義動画等をパソコンやその他の記録メディアに保存すること
(4)講義動画等をインターネット上のネットワーク配信サイト等へ配布すること
(5)その他著作権法等の法令に反する行為

会 告
 PDFファイルのダウンロード

参加定員

各100名(先着順にて定員に達し次第締め切ります。)

費用

(1)日本表面真空学会個人正会員 6,000円/講座
(2)日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する個人 6,000円/講座
(3)日本表面真空学会学生会員、日本表面真空学会個人正会員が指導する学生 1,000円/講座
(4)上記(3)に該当しない学生 2,000円/講座
(5)協賛団体会員 7,500円/講座
(6)非会員 10,000円/講座
(資料代・消費税を含む)*資料は事前に郵送します。

※上記(2)日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員はこちらよりご確認ください。

申込方法

こちらの申込フォームからお申込みください。
※お申込み完了後、受付完了メールが自動返信されます。
 受付完了メールが届かない場合は、office@jvss.jp へご連絡下さい。

申込受付完了後、請求書をメール添付でお送りしますので、お支払い手続きをお願いします。
なお、「受講者の都合による取り消し及び不参加」の場合、受講料の払い戻しはいたしません。ただし受講者の変更は、差し支えありません。

本申込時に入力された個人情報は、日本表面真空学会が収集し、オンライン真空応用技術講座の実施運営に利用します。本申込時に入力されたアドレス宛に今後日本表面真空学会が主催する講習会、真空技術者資格認定試験等のご案内を送信させていただくことがあります。

支払方法

銀行振込(申込受付完了後、請求書をメール添付でお送りします。)

「受講者の都合による取り消し及び不参加」の場合、受講料の払い戻しはいたしません。ただし、受講者の変更は差し支えありません。

協賛

低温工学・超電導学会、電気学会、日本加速器学会、日本機械学会、日本原子力学会、日本材料学会、日本真空工業会、日本半導体製造装置協会、日本分析化学会、日本放射光学会、表面技術協会、プラズマ・核融合学会(依頼中を含む)

備考

問合せ先
 公益社団法人日本表面真空学会 事務局
 TEL: 03-3812-0266  E-mail: office@jvss.jp



日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL:03-3812-0266 FAX:03-3812-2897 Email:

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