公益社団法人 日本表面真空学会



SP部会 第163回定例研究会・第16回技術交流会<ポスター発表締切11/25>

主催

日本表面真空学会

開催日

2019年12月9日(月)13:00~19:00(受付12:40~)

締切日

2019年12月05日

会場

機械振興会館 地下3F 研修-2号室 交通アクセス
東京都港区芝公園3-5-8(東京タワー前)

プログラム

 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)では、会員相互の技術情報交換の場を提供するために、年末の定例研究会と技術交流会の同時開催を企画しています。毎回ご好評をいただいており、同時開催は今年で16回目となります。
 今回の定例研究会ではスパッタリング成膜におけるターゲットからのイオン衝撃を積極的に利用した成膜技術、また近年注目されつつある有機材料などのスパッタリングに関する基礎的な研究をとりあげました。また、本年6月に開催されましたISSP2019のポスター賞受賞者の発表を含め開催します。
 技術交流会ではショートプレゼンテーションとポスターセッションをあわせた形で開催いたします。またポスターセッションは懇親を兼ねる形といたします。この技術交流会を機会に是非会員相互で有益な技術情報を交換していただき、会員各社のさらなる技術的発展につながればと考えております。部会員以外の方の参加も歓迎いたします。皆様の奮ってのご参加をお待ちしております。なお、ポスター発表者の当日(定例研究会と技術交流会)の参加費は無料です。

定例研究会
(1)13:00~13:40
    スパッタ法におけるイオン照射を利用した六方晶系圧電薄膜の結晶配向制御    
                                                             高柳 真司(同志社大学 生命医科学部 医情報学科)
(2)13:40~14:20
     生体分子の薄膜試料の高速C60イオン照射によるスパッタリング
                                  中嶋 薫(京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻)
(3)14:20~14:40
     Electrochromic Properties of Sputter-Deposited Rhodium Oxide Thin Film with Various
     Thickness(ISSP2019ポスター賞受賞講演/日本語)
         C. Y. Jeong*1),2), Y. Abe1), M. Kawamura1), K. H. Kim1), T.Kiba1),H. Watanabe2),
                         T. Kawamoto2), K. Tajima2)  1)Kitami Institute of Technology, 2)AIST
(4)14:40~15:00
     Treatment of Deteriorated Cutting Fluid by Atmospheric-Pressure Plasma and in-Liquid
     Plasma(ISSP2019ポスター賞受賞講演/日本語)
         J. Miyamoto*1), R. Tsuboi1), S. Kawada2), M. Yoshida1)
                                                       1)Daido University, 2)Tokyo University of Science
技術交流会
(5)15:20~17:20  ショートプレゼンテーション(1件8分程度 × MAX15件予定)
(6)17:30~19:00  ポスターセッション       

           ◆ポスター発表を募集いたします◆

ポスター発表のみでも結構ですが、できるだけショートプレゼンもお願いいたします。
発表内容については特に制限を設けません。新製品の宣伝的な内容、困り事の相談的な内容でも結構です。研究機関等にご所属の方の研究紹介も歓迎します。
発表を希望される方は、以下の申し込みページよりお申し込みください。

 ポスター発表申込方法こちらの申し込みページよりお申し込みください。

 ポスター発表申込期限: 11月25日(月)(それ以後はお問合せください)

 アブストラクト(A4用紙1枚)提出期限: 11月28日(木)

 アブストラクト(A4用紙1枚)提出先: 公益社団法人日本表面真空学会 事務局
                     E-mail:office@jvss.jp

第1~15回ポスター発表参加者
大阪大学、金沢工業大学、関東学院大学、京都大学、近畿大学、信州大学、成蹊大学、千葉工業大学、中部大学、東海大学、東京大学、東京理科大学、東北大学、東洋大学、名古屋大学、兵庫県立大学、法政大学、AGCセラミックス(株)、(株)COMET、秋田県産業技術総合研究センター、AGC(株)(旧称:旭硝子(株) )、(株)アルバック、アルバックテクノ(株)、(株)イー・エム・ディー、イーグル工業(株)、(株)大阪真空機器製作所、オリンパス(株)、キヤノン(株)、キヤノンアネルバ(株)、芝浦メカトロニクス(株)、(株)昭和真空、(株)シンクロン、助川電気工業(株)、(株)スピネット、セントラル硝子(株)、大亜真空(株)、東京電子(株)、(株)日鉱マテリアルズ、日本真空光学(株)、日本ビクター(株)、(株)ブリヂストン、平和電機(株)(旧称:平和電源)、ペガサスソフトウエア(株)、(株)ホンダロック、都城工業高等専門学校、(株)村田製作所 (敬称略、五十音順)

費用

1. SP部会会員                                                                        無 料
2. 日本表面真空学会個人正会員                                           ¥23,000
3. 日本表面真空学会法人正会員・維持会員・賛助会員所属の方  ¥18,000
4. 教育機関,公的機関に属する方                                        ¥12,000
5. 学生                                                                             ¥5,000
6. 一般                                                                           ¥28,000
7. ポスター発表者                                                                  無 料

申込方法

こちらの申し込みページからお申込みください。
※お申込み完了後、受付完了メールが自動返信されます。
   受付完了メールが届かない場合は、事務局までご連絡ください。

支払方法

当日受付にてお支払いください。
※なるべくお釣りのないようご準備ください。

備考

問合せ先: 公益社団法人日本表面真空学会 事務局
                TEL:03-3812-0266 FAX:03-3812-2897 E-mail:office@jvss.jp

本件担当: 公益社団法人日本表面真空学会 SP部会 (シンクロン)松本繁治、(ULVAC)高澤 悟



日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL:03-3812-0266 FAX:03-3812-2897 Email:

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