表面分析実践講座2024　実践! 最新走査電子顕微鏡実習実際の作業を通して身につける最新技術

主催

日本表面真空学会

開催日

2024年8月8日（木）、9日（金）

締切日

2024年07月11日

会場

日本電子株式会社開発館
〒196-8558　東京都昭島市武蔵野3-1-2（TEL 042-542-1111）
JR青梅線「中神」駅　徒歩13分

プログラム

最近の走査電子顕微鏡は、形状観察はもちろんのこと、各種検出器を駆使した多岐にわたる分析が可能となっています。そこで本講座では、SEM経験者を想定し、基礎と応用に関する講習と共に、専門家の指導の下で最新の実機を用いた実習に参加してもらい、体験を通じた原理の理解の深耕と、応用力の効くオペレーション技術を習得して頂きます。実習では、各種検出器の使い方から低加速電圧観察と分析、さらには試料断面の作製などを対象とし、実践を通じて習得することを目的としています。

2024年8月8日（木）
9:30-10:00	SEM実習前に基礎をおさらい	朝比奈俊輔（日本電子株式会社）
10:00-12:00	SEM実習１（LV-SEMもしくはFE-SEM）
12:00-13:00	昼食
13:00-14:00	SEM実習１続き（LV-SEMもしくはFE-SEM）
14:00-15:00	SEM実習２（FE-SEMもしくはLV-SEM）
15:00-15:30	休憩
15:30-17:30	SEM実習２続き（FE-SEMもしくはLV-SEM）
2024年8月9日（金）
9:30-10:00	低加速電子を用いる高分解能測定	髙見誠一（名古屋大学）
10:00-10:55	走査電子顕微鏡でみるナノ多孔質材料	遠藤　明（産業技術総合研究所）
10:55-11:05	休憩
11:05-12:00	複数の像検出器を搭載した最新走査電子顕微鏡を最大活用する－装置誕生から60年の技術の系譜－	佐藤　馨（ＪＦＥテクノリサーチ株式会社）
12:00-13:00	昼食
13:00-13:30	Arイオンビームを用いたSEM用の試料断面作製	應本玉恵（日本電子株式会社）
13:30-14:20	SEM-EBSD法の原理と材料解析への応用例	森田博文（オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社）
14:20-14:40	休憩
14:40-15:30	SEM-EDS分析の基礎と実際	森田正樹（日本電子株式会社）
15:30-17:00	装置実習（試料断面作製、EBSD、EDS）
17:00-17:30	総合討論

実習内容
８月８日（木）のSEM実習は、専門家の指導のもと各班最大3名に分かれLV-SEMおよびFE-SEMを実際に操作して頂きます。
LV-SEM（低真空SEM）：真空度による違い、無蒸着・蒸着の差、元素分析の留意点
FE-SEM (高分解能SEM)：低加速電圧、高分解能観察、各検出器における像解釈

※参加者の試料持参もお受けしております。実践講座当日に観察されたい試料がある場合は、お申し込み時に試料情報に関するアンケート欄に記入してください。

８月９日（金）の装置実習は、講義の内容（試料断面作製、EBSD、EDS）を実習によりさらに理解頂くため、各講師による装置実習を行います。講義後、各自の希望に分かれて実習します。また、この実習は事前の申し込みが可能です。先着による事前希望を優先させて頂きます。人数に余裕がある場合、当時の変更も可能です。講座当日の申し込みは部屋の都合により、ご希望に添えない場合もございます。

参加定員

18名（定員に達し次第締め切ります）

費用

申　込　資　格	受講料
日本表面真空学会個人正会員	60,000円
日本表面真空学会法人正会員	60,000円
日本表面真空学会維持会員	60,000円
日本表面真空学会賛助会員	65,000円
協賛学協会会員	70,000円
その他	80,000円