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2025年度SP部会賞決定のお知らせ

2026-04-15

2025年度のSP部会賞を以下の業績に贈呈することと決定いたしました。

受賞者　：齋藤 孝之、花咲 武典、後藤 辰弥、田名部 正治（キヤノンアネルバ株式会社）
業績業績：EC7430 誘電体膜成膜用スパッタリング装置の開発・製品化

SP部会賞ならびに本業績の審査の経緯に関する詳細は
https://www.jvss.jp/ja/activities/40/prize.html
をご覧ください。