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[ml] 真空技術部会2026年12月研究例会(12/18)のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；山本将博（真空技術部会長）

日本表面真空学会 真空技術部会2026年12月研究例会
主題「表面からのガス脱離・ガス放出の低減と計測技術」

真空装置の到達圧力は、装置に用いる材料の表面から脱離・放出するガス量と真空ポンプの排気速度との釣り合いで決まります。この表面からの「ガス脱離・ガス放出」を理解し制御することは、表面科学と真空技術の基礎であると同時に、装置の性能を左右する実務上の鍵になります。とりわけ、超高真空や極高真空を必要とする加速器や電子顕微鏡、半導体プロセス、各種分析・計測装置において、ガスの脱離と放出量の低減、および計測が性能と信頼性の向上につながります。本例会では、材料や表面処理などによるガスの低減技術、その計測方法について基礎から応用を見通せるように各分野の第一線でご活躍の講師をお招きします。本例会が、最新の知見の獲得と研究者・技術者が交流する場となること、さらには今後の真空技術の発展につながることを期待しております。ご関心をお持ちの多くの皆様のご参加を心よりお待ちしております。

日時：2026年12月18日（金）13:15～16:35

会場：機械振興会館 6階 6-66会議室 およびオンライン（Zoom）
　　（〒105-0011　東京都港区芝公園3−5−8）

講演プログラム
13:15-13:20　開会の挨拶　（真空技術部会）糟谷 圭吾
13:20-14:05「ステンレス鋼、アルミニウム合金のガス放出」
　　　　　　 稲吉 さかえ
14:05-14:50「位置情報を伴う水素脱離計測の最前線」
　　　　　 （物質・材料研究機構）板倉 明子
14:50-15:00　休憩
15:00-15:45「Vacuum firingによる放出ガス低減とそのメカニズム」
　　　　　 （日本原子力研究開発機構）神谷 潤一郎
15:45-16:30「ガス放出測定と昇温脱離分析の原理と規格」
　　　　　 （産業技術総合研究所）吉田　肇
16:30-16:35　閉会の挨拶　（真空技術部会）山本 将博

参加費（消費税、予稿集代を含む）
日本表面真空学会会員個人正会員：3,000円
日本表面真空学会会員法人正会員・維持会員・賛助会員に属する方：3,000円
協賛学協会会員（法人含む）：3,000円
非会員：5,000円
学生（予稿集購入）：1,000円
学生（予稿集不要）：無料

参加定員：現地90名、オンライン100名

申込締切：2026年12月3日（木）

申込方法：ホームページよりお申し込みください。
　　　　　https://www.jvss.jp/ja/activities/41/detail/00011.html

問合せ先：日本表面真空学会 事務局　E-mail: office@jvss.jp

＜本メールは日本表面真空学会より会員の皆様宛に配信しております。＞