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[ml] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第188回定例研究会・第23回技術交流会のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；中野武雄（成蹊大学、日本表面真空学会SP部会長）

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第188回定例研究会・第23回技術交流会
「光電融合技術を支える光変調デバイスと薄膜材料技術の最前線」

第188回定例研究会は、3件の技術講演を企画しました。近年、AI・データセンター需要の拡大を背景として、光電融合技術への関心が急速に高まっています。光デバイス分野では、性能向上や低消費電力化、量産化に向けた研究開発が活発に進められており、今後の産業競争力を左右する重要技術として注目されています。一方で、これらのデバイスを社会実装するためには、材料・成膜・プロセス技術の果たす役割も極めて重要です。本講演会では、光電融合分野の最新動向を俯瞰するとともに、SP部会が専門とするスパッタリング・プラズマプロセスとの接点や、新たな応用展開の可能性について考える機会としたいと思います。
SP部会は、会員相互の技術情報交換の場を提供するために、年一度、技術交流会を企画しています。
毎回ご好評をいただいており、今年で23回目となります。ポスターセッションでは懇親を兼ねる形といたします。この技術交流会を機会に会員相互で有益な技術情報を交換していただき、会員同士のさらなる技術的発展につながればと考えております。発表内容については特に制限を設けません。新製品の宣伝的な内容、困り事の相談的な内容でも結構です。研究機関等にご所属の方の研究紹介も歓迎します。発表者の参加費は無料です。
皆様の奮ってのご参加をお待ちしております。

日時：2026年12月1日（火）13:00～18:30
場所：機械振興会館 地下3階 研修-2会議室
　　（〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8）

プログラム：
13:00～13:05　開会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会 部会長（成蹊大学）中野 武雄
―定例研究会―
13:05～13:45「光電融合に向けたメンブレン光デバイスの開発」
（NTT先端集積デバイス研究所）藤井 拓郎
13:45～14:25「シリコン上強誘電結導波路を用いた高速光変調器の開発」
（九州大学）横山 士吉
14:25～14:35　休憩
14:35～15:15「超小型光変調器の実現に向けた無機強誘電体電気光学薄膜の開発と評価」
（名古屋大学）山田 智明
15:15～15:20　閉会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会 副部会長（東京都立大学）清水 徹英
―技術交流会―　※ポスター発表者を募集しています。
15:20～16:00　ショートプレゼンテーション（交代時間含め2分30秒×15件予定）
16:30～18:30　ポスターセッション

参加費（資料代・消費税を含む）
　SP部会会員：無料
　ポスター発表者：無料
　日本表面真空学会個人正会員：23,000円
　日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
　教育機関、公的機関に属する方：12,000円
　学生： 1,000円
　一般：28,000円

参加定員：50名
申込締切：2026年11月17日（火）
申込方法：Webページよりお申し込みください。
　https://www.jvss.jp/ja/activities/40/detail/00038.html

問合せ先：日本表面真空学会 事務局　E-mail: office＠jvss.jp

＜本メールは日本表面真空学会より会員の皆様宛に配信しております。＞