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[ml] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第184回定例研究会・第22回技術交流会のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；中野武雄（成蹊大学、日本表面真空学会SP部会長）

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第184回定例研究会・第22回技術交流会：日本トライボロジー学会機能性コーティングの最適設計技術研究会・島津製作所との合同研究会
「機能性材料の計測評価技術の最前線」

解析・計測技術は日進月歩であり、研究開発においては最先端かつ多角的なアプローチが求められています。材料・プロセス・デバイスの高機能化に伴う計測・評価の重要性の高まりを受け、今回SP部会ではトライボロジー学会機能性コーティングの最適設計技術研究会と島津製作所様との合同で標記テーマにて研究会を開催する運びとなりました。計測評価に関して第一線でご活躍の先生方をお招きし、最新の研究成果をご紹介いただきます。
また島津製作所本社内の見学も合わせて企画しておりますので、この機会に多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。
なお、技術交流会のポスター発表者は、参加費が無料です。

日時：2025年12月16日（火）10:30～19:00

場所：島津製作所 本社 講演ホール
　　（〒604-8511 京都市中京区西ノ京桑原町1）

プログラム
第一部：島津製作所工場見学（10:30～11:30）
　　　　ターボ分子ポンプ・回折格子製造工場など
第二部：講演会および技術交流会（13:00～19:00）

講演会
13:00～13:05　開会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会 部会長（成蹊大学）中野 武雄
13:05～13:45 【基調講演】
「材料表面における走査型プローブ顕微鏡による表面構造観察と赤外ラマン顕微鏡を用いた化学状態評価」
　小暮 亮雅/丹下 祥之（株式会社島津製作所）
13:45～14:25
「AFMによる低摩擦界面の可視化と構造理解」
　山下 直輝（京都工芸繊維大学）
14:25～15:05
「走査プローブ顕微鏡による誘電体ナノ構造のナノスケール評価」
　鈴木 啓悟（株式会社村田製作所）
15:05～15:30　休憩
15:30～16:10
「人工設計された立体形状Si基板への薄膜作製と形状が創り出す特異な電子物性」
　服部　 賢（奈良先端科学技術大学院大学）
16:10～16:50
「放射光電子分光を用いた酸化物ヘテロ構造の評価とモットトランジスタ開発」
　組頭 広志（東北大学）
16:50～17:10
「反射分光法を用いた膜厚解析法およびゼータ電位による表面改質評価」
　山本 実徳（大塚電子株式会社）
17:15～17:20　閉会の挨拶
　日本トライボロジー学会機能性コーティングの最適設計技術研究会（岐阜大学）上坂 裕之

技術交流会
17:30～19:00　ポスターセッション

＜技術交流会ではポスター発表者を募集しています。＞
SP部会は、会員相互の技術情報交換の場を提供するために、年一度、技術交流会を企画しています。
毎回ご好評をいただいており、今年で22回目となります。ポスターセッションでは懇親を兼ねる形といたします。この技術交流会を機会に会員相互で有益な技術情報を交換していただき、会員同士のさらなる技術的発展につながればと考えております。発表内容については特に制限を設けません。新製品の宣伝的な内容、困り事の相談的な内容でも結構です。研究機関等にご所属の方の研究紹介も歓迎します。発表者の参加費は無料です。
皆様の奮ってのご参加をお待ちしております。

参加費（資料代・消費税を含む）
　SP部会会員、機能性コーティングの最適設計技術研究会会員、島津製作所に属する方、ポスターセッション発表者：無料
　日本表面真空学会個人正会員：23,000円
　日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
　教育機関、公的機関に属する方：12,000円
　学生： 5,000円
　一般：28,000円

参加定員：第一部 20名、第二部 50名程度
申込方法：下記Webページよりお申し込みください。
　https://www.jvss.jp/ja/activities/40/detail/00032.html

ポスター発表申込締切：2025年11月25日（火）
参加申込締切：2025年12月2日（火）

問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会 事務局　E-mail: office＠jvss.jp

＜本メールは日本表面真空学会より会員の皆様宛に配信しております。＞