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[ml] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第183回定例研究会のご案内

[ml] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第183回定例研究会のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；中野武雄（成蹊大学、日本表面真空学会SP部会長）

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第183回定例研究会
「宇宙推進機に学ぶイオンソースの最前線」

イオンソースは産業界において、イオン注入やエッチング、IAD(Ion Assisted Deposition)や分析機器での利用など幅広い用途で必要不可欠なデバイスとなっています。イオンの発生には多くの場合プラズマが用いられており、プラズマの生成方法やイオンの引き出し方式、制御可能な電流値、エネルギー範囲などに応じて様々な種類がありますが、そのうちのいくつかは人工衛星の推進機構として開発され、産業応用されてきました。本研究会では推進機構としてのイオンソースに焦点を当て、当分野で最先端のご研究を行われている先生方をお招きしました。様々な要素の集大成であるイオンソースの研究から新たな知見が得られることを期待しております。多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

開催日時：2025年9月4日（木）13:30～16:40
開催場所：機械振興会館地下3階 B3-6号室（東京都港区芝公園3-5-8）

プログラム：※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
13:30～13:35　開会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会部会長　中野武雄（成蹊大学）
13:35～14:15「宇宙機用プラズマ推進機に関するJAXAの研究開発活動概要」
　張科寅（宇宙航空研究開発機構）
14:15～14:55「電気推進ロケットにおける新推進剤の研究について」
　各務聡（東京都立大学）
14:55～15:15 休憩
15:15～15:55「小型プラズマ源の高性能化」
　堀澤秀之（東海大学）
15:55～16:35「エレクトロスプレーイオン源を利用した宇宙推進機」
　鷹尾祥典（横浜国立大学）
16:35～16:40　閉会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会副部会長　清水徹英（東京都立大学）

参加費（資料代・消費税を含む）
　SP部会員：無料
　日本表面真空学会個人正会員：23,000円
　日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
　教育機関、公的機関に属する方：12,000円
　学生： 1,000円
　一般：28,000円

参加定員：40名

申込方法：ホームページよりお申込みください。
　https://www.jvss.jp/ja/activities/40/detail/00029.html

申込締切：2025年8月21日（木）

問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会事務局
　　　　　E-mail: office＠jvss.jp

＜本メールは日本表面真空学会より会員の皆様宛に配信しております。＞