理事(25名)(*兼務)
理事25名全員非常勤
| 会長 | 渡邉 聡(東京大学) |
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| 副会長(会長代理) | 森川 良忠(大阪大学) |
| 副会長 | 入江 則裕(入江工研株式会社) |
| 庶務 | 中村 淳(電気通信大学) 吉田 肇(産業技術総合研究所) |
| 会計 | 金 有洙(韓国基礎科学研究院) 稲吉さかえ(株式会社アルバック) |
| 東北・北海道支部 | 松本 祐司(東北大学) |
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| 関東支部 | 小嗣 真人(東京理科大学) |
| 中部支部 | 佐藤 英樹(三重大学) |
| 関西支部 | 中村 芳明(大阪大学) |
| 九州支部 | 鈴木 孝将(福岡大学) |
| 学術講演会 | 近藤 寛(慶應義塾大学) |
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| 企画・部会 | 松田 巌(東京大学) |
| ダイバーシティ | 板倉 明子(物質・材料研究機構) |
| 国際連携 | 谷本 育律(高エネルギー加速器研究機構) |
| 教育・育成 | 横田 泰之(理化学研究所) |
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| 会誌編集 | 大野 真也(横浜国立大学) |
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| 電子ジャーナル | 吹留 博一(東北大学) |
| 出版 | 島田 透(弘前大学) |
| 資格認定 | 中村 誠(富士通株式会社) |
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| 規格標準化 | 神谷潤一郎(日本原子力研究開発機構) |
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| 広報・会員増強 | 久保 利隆(産業技術総合研究所) |
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| 産学官連携 | 吉田 秀樹(株式会社テクノポート) |
| 表彰・顕彰 | 福井 賢一(大阪大学) |
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| 監事(2名) | 玉田 薫(九州大学) 福谷 克之(東京大学) |
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日本表面真空学会 事務局
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