日本表面真空学会 次世代真空エレクトロニクス技術部会

2026年3月5日（木）13:30～16:30（入室開始時間：現地、オンラインともに13:20～）

機械振興会館 地下3階 B3-1会議室 およびオンライン
（〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8）

電子顕微鏡、表面分析装置、質量分析装置などの各種分析装置では、電子・イオンなどの信号を捉える各種検出器が、装置性能を左右する重要な要素です。これまで本研究会では電子線源など“プローブ側”の話題が中心でしたが、今回は視点を変え、“検出側”にスポットを当てた企画を用意しました。電子・イオン検出器には複数の方式があり、装置の狙いや特性に応じて使い分けられています。当会では、代表的な検出方式の概要に加え、実際の装置でどのように活用されているのかについてもご紹介いただきます。本研究会が、電子・イオン検出器の理解を深めるとともに、今後の活用・開発に向けた有意義な議論の場となれば幸いです。

テーマ
真空エレクトロニクスの応用展開「電子・イオン検出器とその応用」

講演プログラム
13:30～13:35　開会の挨拶　　日本表面真空学会FVE部会 部会長 （京都大学）後藤 康仁

13:35～14:25 「電子・イオン検出器の概要とその動向」　（浜松ホトニクス）西村 一

14:25～15:15 「SEMの信号電子検出器と像形成」　（産業技術総合研究所）熊谷 和博

15:15～15:35　休 憩

15:35～16:25 「シンチレーター応答時間に関する研究(仮)」　（日立ハイテク）今村 伸

16:25～16:30　閉会の挨拶　　日本表面真空学会FVE部会 部会長（京都大学）後藤 康仁

17:00～19:00　懇親会（有料）

対面 25名、オンライン 50名

FVE部会員（法人部会員については定められた人数の範囲内）：無料
日本表面真空学会個人正会員：18,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
教育機関、公的機関に属する方：12,000円
学生： 5,000円
一般：23,000円
（資料代・消費税を含む）

＊日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員の企業名はこちらをご確認ください。

ただいま準備中です。

銀行振込
＊申込受付完了後、請求書をメール添付でお送りします。
（銀行振込のため領収書は発行いたしません。ご了承ください。）

＊「参加者の都合による取消し及び不参加」の場合、参加費の払い戻しはいたしません。
　ただし、参加者の変更は差し支えありません。

問合せ先
公益社団法人日本表面真空学会 事務局
E-mail: office@jvss.jp　　TEL: 03-3812-0266

本件担当
日本表面真空学会 FVE部会 （浜松ホトニクス）平野 友彦