公益社団法人 日本表面真空学会

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真空技術部会2026年12月研究例会「表面からのガス脱離・ガス放出の低減と計測技術」

主催

日本表面真空学会

開催日

2026年12月18日(金)13:15~16:35(現地/接続受付13:00~)

締切日

2026年12月03日

会場

機械振興会館 6階 6-66会議室 およびオンライン(Zoom)
(〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8)

プログラム

主題「表面からのガス脱離・ガス放出の低減と計測技術」

真空装置の到達圧力は、装置に用いる材料の表面から脱離・放出するガス量と真空ポンプの排気速度との釣り合いで決まります。この表面からの「ガス脱離・ガス放出」を理解し制御することは、表面科学と真空技術の基礎であると同時に、装置の性能を左右する実務上の鍵になります。とりわけ、超高真空や極高真空を必要とする加速器や電子顕微鏡、半導体プロセス、各種分析・計測装置において、ガスの脱離と放出量の低減、および計測が性能と信頼性の向上につながります。本例会では、材料や表面処理などによるガスの低減技術、その計測方法について基礎から応用を見通せるように各分野の第一線でご活躍の講師をお招きします。本例会が、最新の知見の獲得と研究者・技術者が交流する場となること、さらには今後の真空技術の発展につながることを期待しております。ご関心をお持ちの多くの皆様のご参加を心よりお待ちしております。

講演プログラム
13:15~13:20  開会の挨拶 (真空技術部会)糟谷 圭吾

13:20~14:05 「ステンレス鋼、アルミニウム合金のガス放出」 稲吉 さかえ

14:05~14:50 「位置情報を伴う水素脱離計測の最前線」(物質・材料研究機構)板倉 明子

14:50~15:00 休憩

15:00~15:45 「Vacuum firingによる放出ガス低減とそのメカニズム」(日本原子力研究開発機構)神谷 潤一郎

15:45~16:30 「ガス放出測定と昇温脱離分析の原理と規格」(産業技術総合研究所)吉田 肇

16:30~16:35  閉会の挨拶 (真空技術部会)山本 将博

参加定員

現地90名、オンライン100名

費用

日本表面真空学会個人正会員:3,000円
日本表面真空学会法人正会員・維持会員・賛助会員に属する方:3,000円
協賛学会会員(法人含む):3,000円
非会員:5,000円
学生(予稿集購入):1,000円
学生(予稿集不要):無料

※参加費には予稿集代、消費税を含みます。
※日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員の企業名はこちらをご確認ください。

申込方法

こちらの申込フォームからお申し込みください。
※お申し込み完了後、受付完了メールが自動返信されます。
 受付完了メールが届かない場合は、office@jvss.jp へご連絡ください。
(迷惑メールに振り分けられている可能性がありますので、まずはご確認ください。)

申込締切 2026年12月3日(木)

支払方法

銀行振込(申込受付完了後、請求書をメール添付でお送りします。)

銀行振込のため領収書は発行いたしません。銀行が発行いたします受領書をもって本会の領収書に代えさせていただきます。
なお、「参加者の都合による取り消し及び不参加」の場合、参加費の払い戻しはいたしません。
ただし、参加者の変更は差し支えありません。

協賛

日本真空工業会、日本顕微鏡学会、応用物理学会、表面技術協会、精密工学会、電気化学会、日本熱処理技術協会、日本金属学会、日本トライボロジー学会(依頼中)

備考

問合せ先
日本表面真空学会 事務局 E-mail: office@jvss.jp

本件担当
日本表面真空学会 真空技術部会(日立製作所)糟谷 圭吾

日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL:03-3812-0266 FAX:03-3812-2897 Email:

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