日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会

2026年12月1日（火）13:00～18:30（受付開始12:30～）

機械振興会館 地下3階 研修-2会議室
（〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8）

テーマ
「光電融合技術を支える光変調デバイスと薄膜材料技術の最前線」

第188回定例研究会は、3件の技術講演を企画しました。近年、AI・データセンター需要の拡大を背景として、光電融合技術への関心が急速に高まっています。光デバイス分野では、性能向上や低消費電力化、量産化に向けた研究開発が活発に進められており、今後の産業競争力を左右する重要技術として注目されています。一方で、これらのデバイスを社会実装するためには、材料・成膜・プロセス技術の果たす役割も極めて重要です。本講演会では、光電融合分野の最新動向を俯瞰するとともに、SP部会が専門とするスパッタリング・プラズマプロセスとの接点や、新たな応用展開の可能性について考える機会としたいと思います。
SP部会は、会員相互の技術情報交換の場を提供するために、年一度、技術交流会を企画しています。
毎回ご好評をいただいており、今年で23回目となります。ポスターセッションでは懇親を兼ねる形といたします。この技術交流会を機会に会員相互で有益な技術情報を交換していただき、会員同士のさらなる技術的発展につながればと考えております。発表内容については特に制限を設けません。新製品の宣伝的な内容、困り事の相談的な内容でも結構です。研究機関等にご所属の方の研究紹介も歓迎します。発表者の参加費は無料です。皆様の奮ってのご参加をお待ちしております。

プログラム
13:00～13:05　開会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会 部会長（成蹊大学）中野 武雄

定例研究会　※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
13:05～13:45
「光電融合に向けたメンブレン光デバイスの開発」
（NTT先端集積デバイス研究所）藤井 拓郎

13:45～14:25
「シリコン上強誘電結導波路を用いた高速光変調器の開発」
（九州大学）横山 士吉

14:25～14:35　休　憩

14:35～15:15
「超小型光変調器の実現に向けた無機強誘電体電気光学薄膜の開発と評価」
（名古屋大学）山田 智明

15:15～15:20　閉会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会 副部会長（東京都立大学）清水 徹英

技術交流会
15:20～16:00　ショートプレゼンテーション（交代時間含め2分30秒×15件予定）
16:30～18:30　ポスターセッション

＜技術交流会ではポスター発表者を募集しています。＞
新製品の宣伝的な内容、困り事の相談的な内容でも結構です。研究機関等にご所属の方の研究紹介も歓迎します。発表者の参加費は無料です。皆様の奮ってのご参加をお待ちしております。

発表申込・予稿提出締切　2026年11月17日（火）

予稿提出方法　PDFファイルにて事務局 office@jvss.jp 宛にご提出ください。
　※A4用紙1枚、様式自由、文字化けを避けるためにフォントは「埋め込み」にしてください。

ポスター　A0サイズにてご準備の上、当日ご持参ください。

第1～22回技術交流会発表参加者
大阪公立大学、大阪大学、岡山大学、金沢工業大学、関東学院大学、京都大学、近畿大学、信州大学、成蹊大学、千葉工業大学、中部大学、電気通信大学、東海大学、東京科学大学、東京工芸大学、東京大学、東京都立大学、東京理科大学、東北大学、東洋大学、名古屋工業大学、名古屋大学、兵庫県立大学、法政大学、久留米工業高等専門学校、都城工業高等専門学校、秋田県産業技術総合研究センター、産業技術総合研究所、物質・材料研究機構、I-PEX Piezo Solutions(株)、(株)アルバック、アルバック九州(株)、アルバックテクノ(株)、(株)イー・エム・ディー、イーグル工業(株)、AGC(株)（旧称:旭硝子(株)）、AGCセラミックス(株)、(株)大阪真空機器製作所、(株)オプトラン、オリンパス(株)、キヤノン(株)、キヤノンアネルバ(株)、栗田工業(株)、(株)COMET、芝浦メカトロニクス(株)、(株)昭和真空、(株)シンクロン、助川電気工業(株)、(株)スピネット、セントラル硝子(株)、大亜真空(株)、東京電子(株)、(株)日鉱マテリアルズ、日本真空光学(株)、日本ビクター(株)、(株)ブリヂストン、平和電機(株)（旧称:平和電源）、ペガサスソフトウエア(株)、(株)北海光電子、(株)ホンダロック、(株)村田製作所（敬称略、五十音順）

50名

SP部会会員：無料
ポスター発表者：無料
日本表面真空学会個人正会員：23,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
教育機関、公的機関に属する方：12,000円
学生：  1,000円
一般：28,000円
（資料代・消費税を含む）

※日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員の企業名はこちらをご確認ください。

こちらの申込フォームからお申し込みください。
※お申し込み完了後、受付完了メールが自動返信されます。
　受付完了メールが届かない場合は、office@jvss.jp へご連絡ください。
（迷惑メールに振り分けられている可能性がありますので、まずはご確認ください。）

申込締切　2026年11月17日（火）

銀行振込（申込受付完了後、請求書をメール添付でお送りします。）

銀行振込のため領収書は発行いたしません。銀行が発行いたします受領書をもって本会の領収書に代えさせていただきます。
なお、「参加者の都合による取消し及び不参加」の場合、参加費の払い戻しはいたしません。
ただし、参加者の変更は差し支えありません。

問合せ先
日本表面真空学会 事務局　E-mail: office@jvss.jp

本件担当
定例研究会：日本表面真空学会 SP部会 （AGC）清 良輔、（東京工芸大学）實方 真臣
技術交流会：日本表面真空学会 SP部会 （I-PEX Piezo Solutions）中川原 修、（村田製作所）茶谷 宗人