日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会

2025年11月6日（木）10:30～16:30（開場10:00～）うち昼休憩1時間、講義90分×3

機械振興会館 6階 6D-4号室
（〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8）

物質の第４状態のプラズマについて、初学者が学びやすい土壌を作るための基礎的な内容について学びます。プラズマとはどのようなもので、どのようにつくるのか、世の中でどのように利用されているのかなどについて、学びを深めることができる内容となっています。

講　師
本村　大成（SP部会幹事、産業技術総合研究所 センシング技術研究部門 主任研究員）

題　目
プラズマ基礎、生成法、計測およびプロセス応用

講義内容
1. プラズマ基礎
　1.1 プラズマとは何でどのようにつくるのか？
　1.2 プラズマ今昔
　1.3 プラズマの主要パラメータと特徴
　1.4 プラズマの取り扱い：軌道運動論、電磁流体力学、気体運動論、プラズマ振動と波動など
　1.5 プラズマ-壁相互作用
2. プラズマ生成法
　2.1 熱平衡プラズマと非熱平衡プラズマ
　2.2 容量結合プラズマと誘導結合プラズマ
　2.3 その他のプラズマ生成法
3. プラズマ計測
　3.1 プローブ計測
　3.2 マイクロ波計測
　3.3 分光計測
　3.4 レーザー計測
4. プロセス応用
　4.1 スパッタリング
　4.2 エッチング
　4.3 化学気相成長法：CVD
　4.4 その他のプロセス応用

30名（先着順にて定員になり次第締め切らせていただきます。）

SP部会員　8,000円
日本表面真空学会個人正会員　25,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方　25,000円
一　般　40,000円
学　生　 3,000円
＊消費税込（テキスト代、昼食代含む）

＊日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員の企業名はこちらをご確認ください。

こちらの申込フォームからお申込みください。
※お申込み完了後、受付完了メールが自動返信されます。
　受付完了メールが届かない場合は、office@jvss.jp へご連絡ください。

申込締切　2025年10月20日（月）

銀行振込
＊申込受付完了後、請求書をメール添付でお送りします。
（銀行振込のため領収書は発行いたしません。ご了承ください。）

＊「受講者の都合による取消し及び不参加」の場合、受講料の払い戻しはいたしません。
　ただし、受講者の変更は差し支えありません。

問合せ先
公益社団法人日本表面真空学会 事務局
E-mail: office@jvss.jp　 TEL: 03-3812-0266