日本表面真空学会、日本真空工業会

2025年12月3日（水）10:15～12:00

東京ビッグサイト 会議棟1階 102会議室
（東京都江東区有明3-11-1）

CVD、ALDプロセスと真空技術の国際規格動向
特別講演として、ALD、CVDプロセスについて、使用する真空機器などを絡めて興味深いお話をご講演いただきます。また、油拡散ポンプや、真空計校正方法など最近の真空技術に関するISO・JISの制改定状況について報告いたします。

1.「CVD、ALDプロセスと真空機器」
　関口 　敦（工学院大学）

2.「油拡散ポンプの性能試験方法について」
　藤村 壽宏（大亜真空株式会社）

3.「ISO3567真空計校正方法 規格改訂状況報告」
　吉川 康秀（アズビル株式会社 アドバンスオートメーションカンパニー）

4.「規格標準合同検討委員会活動報告 ～最近のISO・JISの制改定等について～」
　鈴木 　明（株式会社フジ・テクノロジー）

100名

無料

VACUUM2025真空展のサイトよりお申込みください。
＊お申込みには｢VACUUM2025真空展｣への入場登録が必要です。

問合せ先
公益社団法人日本表面真空学会 事務局
E-mail: office@jvss.jp　　TEL 03-3812-0266